ລາວ
Views: 0 Author: Site Editor ເວລາເຜີຍແຜ່: 2026-07-13 ຕົ້ນກໍາເນີດ: ເວັບໄຊ
ລະບົບເລເຊີທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງແມ່ນອີງໃສ່ການຫມູນໃຊ້ແສງສະຫວ່າງທີ່ຊັດເຈນ. ຊັ້ນເຂດແດນລະຫວ່າງ substrate optic ແລະສະພາບແວດລ້ອມຂອງມັນເປັນຕົວແທນຈຸດທົ່ວໄປທີ່ສຸດຂອງຄວາມລົ້ມເຫຼວໃນລະບົບເຫຼົ່ານີ້. ການລະບຸບໍ່ພຽງພໍ ການເຄືອບ Optical ນໍາໄປສູ່ຄວາມເສຍຫາຍທີ່ເກີດຈາກເລເຊີ, ການຫຼຸດຜ່ອນພະລັງງານທີ່ຮຸນແຮງ, ທັດສະນະຄວາມຮ້ອນ, ຫຼືຄຸນນະພາບຂອງລໍາແສງທີ່ຖືກທໍາລາຍ. ຄວາມລົ້ມເຫຼວເຫຼົ່ານີ້ສົ່ງຜົນໃຫ້ລະບົບການຢຸດເຮັດວຽກທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແລະການທົດແທນອົງປະກອບ.
ການເຂົ້າໃຈກົນໄກທາງກາຍະພາບຂອງການຝາກຮູບເງົາບາງໆແລະການແຊກແຊງແມ່ນຈໍາເປັນ. ວິສະວະກອນແລະທີມງານຈັດຊື້ຕ້ອງປະເມີນຄວາມສາມາດຂອງຜູ້ຂາຍຢ່າງຖືກຕ້ອງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມທົນທານຂອງລະບົບ. ທ່ານຈໍາເປັນຕ້ອງຈັບຄູ່ເທກໂນໂລຍີການເຄືອບກັບລະດັບເລເຊີສະເພາະແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການດໍາເນີນງານໃນໄລຍະຍາວ. ພວກເຮົາຈະທໍາລາຍຟີຊິກ, ວິທີການຝາກຝັງ, ແລະວັດແທກວັດແທກທີ່ຕ້ອງການເພື່ອລະບຸ optics ທີ່ຢູ່ລອດສະພາບແວດລ້ອມເລເຊີໃນໂລກທີ່ແທ້ຈິງ.
ໃນຫຼັກການຂອງມັນ, ການຫມູນໃຊ້ແສງຜ່ານ optics ເຄືອບແມ່ນອີງໃສ່ການແຊກແຊງຂອງຮູບເງົາບາງໆ. ໂດຍການຝາກຊັ້ນສະລັບຂອງວັດສະດຸດັດຊະນີສະທ້ອນແສງສູງ ແລະຕໍ່າ, ວິສະວະກອນສ້າງເງື່ອນໄຂເຂດແດນສະເພາະ. ວັດສະດຸທົ່ວໄປປະກອບມີ Tantalum Pentoxide, Hafnium Oxide, ແລະ Silicon Dioxide. ໃນຂະນະທີ່ຄື້ນແສງສະຫວ່າງໂຈມຕີເຂດແດນເຫຼົ່ານີ້, ພວກມັນສະທ້ອນແລະຖ່າຍທອດ. ອີງຕາມຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນແລະຕົວຊີ້ວັດການສະທ້ອນແສງ, ຄື້ນເຫຼົ່ານີ້ຈະປະສົມປະສານຢ່າງສ້າງສັນເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍການສະທ້ອນຫຼືທໍາລາຍເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບການສົ່ງຕໍ່.
ການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງຄຸນສົມບັດ optical ເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນຂຶ້ນກັບການຄຸ້ມຄອງການປ່ຽນແປງໄລຍະແລະຄວາມຫນາ optical. ຊັ້ນຂໍ້ມູນຖືກອອກແບບໂດຍປົກກະຕິປະມານຄວາມຫນາຂອງແສງເຄິ່ງຄື້ນ (QWOT) ຫຼືຄວາມຫນາຂອງແສງເຄິ່ງຄື້ນ (HWOT). ເມື່ອຄວາມໜາຂອງ optical ຂອງຊັ້ນໃດນຶ່ງເທົ່າກັບນຶ່ງສ່ວນສີ່ຂອງຄວາມຍາວຄື່ນເປົ້າໝາຍ, ຄື້ນທີ່ສະທ້ອນຈາກເຂດແດນດ້ານເທິງ ແລະລຸ່ມແມ່ນໝົດໄລຍະ. ນີ້ຍົກເລີກພວກມັນອອກສໍາລັບການຕ້ານການສະທ້ອນ. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ພວກເຂົາສາມາດຢູ່ໃນຂັ້ນຕອນຢ່າງສົມບູນໃນເວລາທີ່ stacked ສໍາລັບການສະທ້ອນສູງ. ຄວາມແມ່ນຍໍາທາງຄະນິດສາດຂອງຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນນີ້ກໍານົດການປະຕິບັດຄວາມຍາວຄື່ນເປົ້າຫມາຍໃນທົ່ວລະບົບທັງຫມົດ.
ນະໂຍບາຍດ້ານການໂຕ້ຕອບການເຄືອບ substrate ມີບົດບາດສໍາຄັນເທົ່າທຽມກັນ. ທາງເລືອກຂອງວັດສະດຸ substrate ກໍານົດພື້ນຖານກົນຈັກແລະຄວາມຮ້ອນຂອງ optic ໄດ້. ປັດໄຈທີ່ສໍາຄັນແມ່ນຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງໃນຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE) ລະຫວ່າງ substrate ແລະຊັ້ນເງິນຝາກ. ຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງຂອງ CTE ທີ່ສໍາຄັນນໍາໄປສູ່ຄວາມກົດດັນກົນຈັກຮ້າຍແຮງ, ເຮັດໃຫ້ການເຄືອບເກີດຄວາມຢາກ, delaminate, ຫຼື warp substrate ພາຍໃຕ້ການໂຫຼດຄວາມຮ້ອນ.
ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ຊ່ອງຫວ່າງເອເລັກໂຕຣນິກຂອງວັດສະດຸເຄືອບ dielectric ຈໍາກັດການປະຕິບັດຂອງເຂົາເຈົ້າ, ໂດຍສະເພາະຢູ່ທີ່ຄວາມຍາວຂອງຄື້ນສັ້ນເຊັ່ນ Ultraviolet ຫຼື Deep Ultraviolet. ວັດສະດຸທີ່ມີພະລັງງານ bandgap ຕ່ໍາດູດເອົາ photons ພະລັງງານສູງ, ນໍາໄປສູ່ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນທ້ອງຖິ່ນ. ການຫຼຸດຜ່ອນການດູດຊຶມນີ້ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີພະລັງງານສູງເພື່ອປ້ອງກັນການເຊື່ອມໂຊມຂອງຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງໄພພິບັດຂອງ optic. ດັດຊະນີການສະທ້ອນແສງ
| ຂອງວັດສະດຸ Dielectric | (ປະມານຢູ່ທີ່ 1064nm) | Bandgap Energy (eV) | ຊ່ອງຂໍ້ມູນເບື້ອງຕົ້ນ |
|---|---|---|---|
| ຊິລິໂຄນໄດອອກໄຊ | 1.45 (ຕໍ່າ) | 9.0 | Broadband AR, stacks HR ພະລັງງານສູງ |
| Hafnium Oxide | 1.90 (ສູງ) | 5.8 | ກະຈົກສູງ LIDT, ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ UV |
| Tantalum Pentoxide | 2.05 (ສູງ) | 4.2 | Telecom, CW laser mirrors |
| Magnesium Fluoride | 1.38 (ຕໍ່າ) | 10.8 | ແສງ UV ເລິກ, AR ຊັ້ນດຽວ |
ຫນ້າທີ່ຕົ້ນຕໍຂອງການ ການເຄືອບ AR ແມ່ນເພື່ອລົບລ້າງການສະທ້ອນຂອງພື້ນຜິວແລະເພີ່ມການສົ່ງແສງສະຫວ່າງຜ່ານຊັ້ນໃຕ້ດິນ. ນີ້ແມ່ນບັນລຸໄດ້ໂດຍການນໍາໃຊ້ການແຊກແຊງທາງທໍາລາຍ, ບ່ອນທີ່ແສງສະຫວ່າງສະທ້ອນຈາກການໂຕ້ຕອບການເຄືອບອາກາດຍົກເລີກແສງສະຫວ່າງທີ່ສະທ້ອນຈາກການໂຕ້ຕອບການເຄືອບ - substrate.
ແຜນວາດການອອກແບບແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງແອັບພລິເຄຊັນ. ການເຄືອບຊັ້ນດຽວສະຫນອງການຫຼຸດຜ່ອນພື້ນຖານຂອງການສະທ້ອນ. V-coatings ແມ່ນວິສະວະກໍາສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກແຄບ, ສະຫນອງການສະກັດກັ້ນສູງສຸດຢູ່ທີ່ຄວາມຍາວຄື່ນດຽວ. W-coatings ໃຫ້ປະສິດທິພາບບໍລະອົດແບນ, ຮັກສາການສະທ້ອນຕ່ໍາໃນທົ່ວຂອບເຂດທີ່ກວ້າງກວ່າ. ເງື່ອນໄຂຄວາມສໍາເລັດສໍາລັບການເຄືອບເຫຼົ່ານີ້ລວມມີການບັນລຸການສະທ້ອນຫນ້ອຍກວ່າ 0.1% ໃນຄວາມຍາວຄື່ນການອອກແບບແລະຫຼຸດຜ່ອນການດູດຊຶມພື້ນຜິວທີ່ຕົກຄ້າງໃຫ້ຕ່ໍາກວ່າ 10 ສ່ວນຕໍ່ລ້ານ.
ກະຈົກ dielectric ຄວາມສະທ້ອນສູງໃຊ້ການລົບກວນການກໍ່ສ້າງໃນທົ່ວຊັ້ນ dielectric ສະຫຼັບຫຼາຍສິບຊັ້ນເພື່ອບັນລຸການສະທ້ອນທີ່ໃກ້ຄຽງ. ໂດຍ stacking ສະຫຼັບວັດສະດຸດັດຊະນີສູງແລະຕ່ໍາ, ຄື້ນຟອງສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນຈາກແຕ່ລະການໂຕ້ຕອບປະສົມປະສານການກໍ່ສ້າງ. ໂຄງສ້າງເຫຼົ່ານີ້ຖືກເອີ້ນໂດຍທົ່ວໄປວ່າເປັນຕົວສະທ້ອນ Bragg.
ຍຸດທະສາດການອອກແບບທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບກະຈົກ HR ໃນລະບົບພະລັງງານສູງແມ່ນການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ. ວິສະວະກອນອອກແບບຊັ້ນວາງເພື່ອຈັດວາງລະດັບຄວາມເຂັ້ມຂອງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າສູງສຸດຢູ່ຫ່າງຈາກຕົວເຊື່ອມຕໍ່ຊັ້ນແລະຫ່າງຈາກວັດສະດຸທີ່ມີດັດຊະນີສູງ. ປົກກະຕິແລ້ວວັດສະດຸທີ່ມີດັດຊະນີສູງແມ່ນມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ຄວາມເສຍຫາຍຂອງເລເຊີ. ມາດຖານຄວາມສຳເລັດກ່ຽວຂ້ອງກັບການບັນລຸລະດັບສະທ້ອນແສງຈາກຫຼາຍກວ່າ 99.9% ໄປເປັນຫຼາຍກວ່າ 99.999%, ການຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງໄລຍະການສະທ້ອນ, ແລະການຄຸ້ມຄອງການຄ້າຢ່າງລະມັດລະວັງລະຫວ່າງແບນວິດສະທ້ອນ ແລະ ລະດັບການສະທ້ອນສູງສຸດ.
ການເຄືອບພິເສດເຫຼົ່ານີ້ຖືກອອກແບບເພື່ອສົ່ງຄວາມຍາວຄື້ນສະເພາະ ຫຼືລັດຂົ້ວໂລກໃນຂະນະທີ່ສະທ້ອນກັບຄົນອື່ນ. ຕົວຢ່າງ, Thin Film Polarizers ຖືກອອກແບບມາເພື່ອປະຕິບັດງານຢູ່ທີ່ Brewster's Angle, ແຍກແສງສະຫວ່າງ s-polarized ແລະ p-polarized ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ.
ເງື່ອນໄຂຄວາມສໍາເລັດສໍາລັບ stacks ສະລັບສັບຊ້ອນເຫຼົ່ານີ້ປະກອບມີເປີ້ນພູການຫັນປ່ຽນແຫຼມລະຫວ່າງສາຍສົ່ງແລະການສະທ້ອນ, ຮັບປະກັນການທັບຊ້ອນສັນຍານຫນ້ອຍທີ່ສຸດ. ອັດຕາສ່ວນການສູນພັນ polarization ສູງແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບການຮັກສາຄວາມບໍລິສຸດຂອງ beam. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ການເຄືອບເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງຮັກສາການປະຕິບັດທີ່ກໍານົດໄວ້ເຖິງວ່າຈະມີການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍໃນມຸມຂອງເຫດການໃນລະຫວ່າງການຈັດລໍາດັບລະບົບ.
ການລະເຫີຍຂອງອີເລັກໂທຣນິກກ່ຽວຂ້ອງກັບການລະບາຍຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸແຫຼ່ງພາຍໃນຫ້ອງສູນຍາກາດສູງໂດຍໃຊ້ beam ເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ສຸມໃສ່. ວັດສະດຸທີ່ມີອາຍໄອຈຸ່ມລົງໃສ່ແຜ່ນຍ່ອຍທີ່ຕັ້ງຢູ່ເທິງແຫຼ່ງ. ໃນຂະນະທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສູງແລະເຫມາະສົມກັບອຸປະກອນທີ່ຫລາກຫລາຍ, ຂະບວນການນີ້ແມ່ນມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບຂໍ້ບົກພ່ອງຂອງ nodule ທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການຖົ່ມແຫຼ່ງ. nodules ເຫຼົ່ານີ້ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນແກ່ນຕົ້ນຕໍສໍາລັບຄວາມເສຍຫາຍ laser ທ້ອງຖິ່ນ.
E-beam ຜະລິດຮູບເງົາທີ່ຂ້ອນຂ້າງ porous, columnar. ໂຄງສ້າງ porous ເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບການດູດຊຶມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຈາກສະພາບແວດລ້ອມ, ນໍາໄປສູ່ການປ່ຽນແປງ spectral ເປັນການປ່ຽນແປງດັດຊະນີ refractive. ມັນຍັງຄົງເປັນທີ່ເຫມາະສົມທີ່ສຸດສໍາລັບພະລັງງານຕ່ໍາຫາປານກາງ, ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ລະອຽດອ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ສຸດບໍ່ແມ່ນຄວາມກັງວົນຕົ້ນຕໍ.
Ion-Assisted Deposition ເສີມຂະບວນການລະເຫີຍ E-beam ມາດຕະຖານດ້ວຍ beam ion ທີ່ແຂງແຮງ, ໂດຍປົກກະຕິ Argon ຫຼື Oxygen. ໃນຂະນະທີ່ໂມເລກຸນທີ່ລະເຫີຍໄດ້ຂົ້ນຂຶ້ນເທິງຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ລຳແສງ ion ຈະລະເບີດຮູບເງົາທີ່ເຕີບໃຫຍ່ຂຶ້ນ, ເຮັດໃຫ້ຊັ້ນຕ່າງໆມີຄວາມໜາແໜ້ນ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ສູງຂຶ້ນແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ດີຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍເມື່ອທຽບກັບການລະເຫີຍຂອງ E-beam ມາດຕະຖານ. IAD ສະຫນອງພື້ນທີ່ກາງທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ສະຫນອງຄວາມທົນທານທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນໃນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕ່ໍາແລະເວລາວົງຈອນໄວກວ່າຂະບວນການ sputtering ກ້າວຫນ້າ.
Magnetron Sputtering ແມ່ນຂະບວນການທີ່ຂັບເຄື່ອນດ້ວຍ plasma ທີ່ວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍຖືກລະເບີດໂດຍ ions ທີ່ມີພະລັງພາຍໃຕ້ສະຫນາມແມ່ເຫຼັກທີ່ເຂັ້ມແຂງ. ນີ້ຈະຂັບໄລ່ປະລໍາມະນູອອກຈາກເປົ້າຫມາຍດັ່ງກ່າວ, ຊຶ່ງຫຼັງຈາກນັ້ນຝາກໃສ່ substrate ໄດ້. ຮູບເງົາທີ່ໄດ້ຮັບຜົນແມ່ນມີຄວາມເປັນເອກະພາບສູງ, ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ແລະເປັນທາດສະກຸນ.
ເທກໂນໂລຍີນີ້ສະຫນອງອັດຕາເງິນຝາກສູງແລະການເຮັດຊ້ໍາອີກເປັນພິເສດໃນໄລຍະພື້ນທີ່ substrate ຂະຫນາດໃຫຍ່. ເນື່ອງຈາກວ່າຮູບເງົາມີຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະບໍ່ມີຮູຂຸມຂົນ, ພວກມັນສະແດງໃຫ້ເຫັນການປ່ຽນແປງຄວາມຊຸ່ມຊື່ນໃກ້ສູນແລະຄວາມທົນທານຂອງກົນຈັກສູງ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາມີຄວາມເຫມາະສົມສໍາລັບລະບົບເລເຊີອຸດສາຫະກໍາທີ່ມີພະລັງງານສູງທີ່ເຮັດວຽກຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ປ່ຽນແປງໄດ້.
Ion Beam Sputtering ເປັນຕົວແທນຂອງຈຸດສູງສຸດຂອງ ເຕັກໂນໂລຊີ ການເຄືອບຮູບເງົາບາງ . beams ພະລັງງານສູງ ion beams ລະເບີດວັດຖຸເປົ້າຫມາຍ, sputtering ປະລໍາມະນູທີ່ມີພະລັງງານ kinetic ສູງທີ່ສຸດໃສ່ substrate ພືດຫມູນວຽນ. ຂະບວນການນີ້ຜະລິດສານເຄືອບທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ກ້ຽງ, ແລະບໍ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງ virtually.
ການເຄືອບ IBS ສະແດງໃຫ້ເຫັນການກະແຈກກະຈາຍຢູ່ໃກ້ກັບສູນແລະລະດັບການດູດຊຶມຕ່ໍາກວ່າ 1 ppm. ເທກໂນໂລຍີນີ້ແມ່ນບັງຄັບສໍາລັບເລເຊີ ultrafast, ຊ່ອງ optical ລະອຽດສູງ, ແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການຂອບເຂດຄວາມເສຍຫາຍທີ່ເກີດຈາກເລເຊີທີ່ຮຸນແຮງ. ອັດຕາແລກປ່ຽນຕົ້ນຕໍແມ່ນຕົ້ນທຶນນິຍົມ ແລະເວລາຂອງຮອບວຽນເງິນຝາກທີ່ຍາວກວ່າ.
| ເທກໂນໂລຍີ Deposition | Film ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ | ຂໍ້ບົກພ່ອງລະດັບ | ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມ | ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກປະຖົມ |
|---|---|---|---|---|
| E-Beam Evaporation | ຕ່ຳ (ມີຮູຂຸມຂົນ) | ປານກາງຫາສູງ | ຕ່ຳ (ປ່ຽນສະເປກສະຕາຣ) | optics ພະລັງງານຕ່ໍາ |
| ການປ່ອຍທາດໄອອອນຊ່ວຍ | ຂະຫນາດກາງ | ປານກາງ | ຂະຫນາດກາງ | ເລເຊີຈຸດປະສົງທົ່ວໄປ |
| ການສະກົດແມ່ເຫຼັກ | ສູງ | ຕໍ່າ | ສູງ | lasers ອຸດສາຫະກໍາ |
| ໄອອອນ Beam Sputtering | ສູງຫຼາຍ | ຕໍ່າທີ່ສຸດ | ສູງຫຼາຍ | ເລເຊີ Ultrafast, LIDT ທີ່ສຸດ |
ເກນຄວາມເສຍຫາຍທີ່ເກີດຈາກເລເຊີແມ່ນຄວາມຄ່ອງແຄ້ວ ຫຼື ຄວາມເຂັ້ມຂອງແສງສູງສຸດທີ່ສານເຄືອບສາມາດທົນໄດ້ກ່ອນທີ່ຈະມີການເຊື່ອມໂຊມທາງກາຍະພາບເກີດຂຶ້ນ. ຕົວຊີ້ວັດນີ້ຕ້ອງໄດ້ຮັບການຢັ້ງຢືນພາຍໃຕ້ມາດຕະຖານ ISO 21254 ທີ່ເຄັ່ງຄັດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື. ກົນໄກຂອງຄວາມເສຍຫາຍແມ່ນແຕກຕ່າງກັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຂຶ້ນຢູ່ກັບລະບົບການເຮັດວຽກຂອງເລເຊີ.
ໃນລະບົບຄື້ນຕໍ່ເນື່ອງຫຼືກໍາມະຈອນເຕັ້ນຍາວ, ຄວາມເສຍຫາຍແມ່ນຕົ້ນຕໍໂດຍການດູດຊຶມຄວາມຮ້ອນແລະຄຸນສົມບັດການຂົນສົ່ງຄວາມຮ້ອນຂອງຂອບເຂດການເຄືອບ - substrate. ການສະສົມຄວາມຮ້ອນເຮັດໃຫ້ການລະລາຍຫຼືຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ fracturing. ໃນລະບອບກໍາມະຈອນສັ້ນ, ຄວາມເສຍຫາຍແມ່ນຄອບງໍາໂດຍການທໍາລາຍເອເລັກໂຕຣນິກໃນທ້ອງຖິ່ນທີ່ຂັບເຄື່ອນດ້ວຍຂໍ້ບົກພ່ອງ. ສໍາລັບ ultrafast pulses, ຄວາມເສຍຫາຍແມ່ນຄຸ້ມຄອງໂດຍກົນໄກການ ionization ທີ່ບໍ່ແມ່ນເສັ້ນ, ເຊັ່ນ multiphoton ແລະ avalanche ionization, ເຊິ່ງເກີດຂຶ້ນເປັນເອກະລາດຂອງຄວາມຜິດປົກກະຕິການຜະລິດຄລາສສິກ.
ການປະເມີນຄວາມສາມາດຂອງຜູ້ຂາຍຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການກວດສອບຄວາມສາມາດຂອງພວກເຂົາເພື່ອສະຫນອງຄວາມສະເພາະຂອງຄວາມຍາວຄື້ນທີ່ຊັດເຈນ. ໄລຍະນີ້ຕັ້ງແຕ່ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຄວາມຍາວຄື້ນດຽວໄປຫາຄວາມຊັບຊ້ອນຂອງ dual-band ຫຼືຄວາມຕ້ອງການປະສິດທິພາບການປັບປ່ຽນໄດ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງ. ມຸມຂອງເຫດການແລະຄວາມອ່ອນໄຫວຂອງຂົ້ວແມ່ນປັດໃຈສໍາຄັນ. ເມື່ອ AOI ເພີ່ມຂຶ້ນ, ແຖບການສົ່ງຕໍ່ spectral ແລະສະທ້ອນແສງປ່ຽນໄປສູ່ປາຍສີຟ້າຂອງ spectrum ຕາມທໍາມະຊາດ. ນອກຈາກນັ້ນ, ໂປໄຟປະສິດທິພາບສໍາລັບ p-polarization ແລະ s-polarization diverge ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຢູ່ທີ່ AOIs ສູງ, ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການອອກແບບຊັ້ນສະລັບສັບຊ້ອນເພື່ອຮັກສາຄຸນສົມບັດ optical ທີ່ຕ້ອງການ.
ລະບົບເລເຊີ Ultrafast ປະເຊີນກັບສິ່ງທ້າທາຍທີ່ເປັນເອກະລັກກ່ຽວກັບການກະຈາຍ. ການເຄືອບມາດຕະຖານມີການກະແຈກກະຈາຍປະກົດຂຶ້ນທີ່ບິດເບືອນ laser pulses femtosecond, stretching ໃຫ້ເຂົາເຈົ້າຢູ່ໃນໂດເມນທີ່ໃຊ້ເວລາແລະຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍພະລັງງານສູງສຸດຂອງເຂົາເຈົ້າ. ເພື່ອຕ້ານການນີ້, ເລເຊີ optics ອອກແບບມາສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ ultrafast ໃຊ້ກະຈົກ chirped ແລະ GDD-compensated. ການປະເມີນຜູ້ຂາຍກ່ຽວຂ້ອງກັບການປະເມີນຄວາມສາມາດຂອງເຂົາເຈົ້າໃນການອອກແບບແລະການຜະລິດການເຄືອບທີ່ມີຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນທີ່ປ່ຽນແປງໄດ້ຊັດເຈນ. ໂຄງສ້າງເຫຼົ່ານີ້ສະຫນອງການກະຈາຍທາງລົບສະເພາະເພື່ອບີບອັດກໍາມະຈອນຫຼືຮັກສາໄລຍະເວລາກໍາມະຈອນສັ້ນຕະຫຼອດເສັ້ນທາງ optical.
spectrophotometers ມາດຕະຖານບໍ່ສາມາດວັດແທກການສະທ້ອນໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງເກີນ 99.9%. Cavity Ring-Down Spectroscopy ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອກວດສອບການສະທ້ອນແສງທີ່ຮຸນແຮງ ແລະປະເມີນການສູນເສຍແສງໂດຍລວມ, ເຊິ່ງລວມມີທັງການດູດຊຶມ ແລະກະແຈກກະຈາຍ, ໃນກະຈົກທີ່ມີຄວາມລະອຽດສູງ. ກົນໄກກ່ຽວຂ້ອງກັບການສີດກໍາມະຈອນເຕັ້ນເລເຊີເຂົ້າໄປໃນຊ່ອງ optical ລະອຽດສູງສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໂດຍ optics ການທົດສອບ. ລະບົບການວັດແທກອັດຕາການເສື່ອມຂອງແສງທີ່ຕິດຢູ່ພາຍໃນຊ່ອງຄອດ, ສະຫນອງການວັດແທກຄວາມຊັດເຈນສູງຂອງການສູນເສຍທັງຫມົດຂອງຢູ່ຕາມໂກນ.
Photothermal Common-Path Interferometry ຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການວັດແທກໂດຍກົງການດູດຊຶມຕ່ໍາສຸດລົງເຖິງລະດັບຍ່ອຍ ppm ໃນທັງ substrates ແລະຊັ້ນເຄືອບ. ກົນໄກດັ່ງກ່າວໃຊ້ການຕັ້ງຄ່າ laser pump-probe. laser pump ພະລັງງານສູງຢູ່ໃນທ້ອງຖິ່ນເຮັດໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງຕົວຢ່າງ, inducing ການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍໃນດັດຊະນີ refractive. A beam probe ທີ່ອ່ອນແອລົງຜ່ານພາກພື້ນທີ່ມີຄວາມຮ້ອນນີ້, ແລະການປ່ຽນແປງໄລຍະຜົນໄດ້ຮັບໄດ້ຖືກກວດພົບ, ເຮັດໃຫ້ການຄິດໄລ່ທີ່ຊັດເຈນຂອງຄ່າສໍາປະສິດການດູດຊຶມ.
Spectrophotometry ຍັງຄົງເປັນມາດຕະຖານສໍາລັບການຢືນຢັນໂປໄຟ spectral, ການວັດແທກການສົ່ງແລະການສະທ້ອນໃນທົ່ວແຖບຄວາມຍາວຂອງຄື້ນກວ້າງ. Ellipsometry ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອກໍານົດຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນທີ່ແນ່ນອນແລະໂຄງສ້າງດັດຊະນີ refractive ສະລັບສັບຊ້ອນຂອງຮູບເງົາທີ່ຝາກໄວ້, ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າໂຄງສ້າງທາງດ້ານຮ່າງກາຍກົງກັບການອອກແບບທາງທິດສະດີ.
| ເທກນິກ Metrology | ການວັດແທກຂັ້ນຕົ້ນ | ຄວາມອ່ອນໄຫວພາລາມິເຕີ ຈໍາກັດ | ກໍລະນີການນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປ |
|---|---|---|---|
| ເທັກໂນໂລຢີການຖ່າຍຮູບ | ການຖ່າຍທອດ / ການສະທ້ອນ | ~0.1% | ການຢັ້ງຢືນ AR/HR ມາດຕະຖານ |
| Ellipsometry | ຄວາມຫນາຊັ້ນ / ດັດຊະນີສະທ້ອນແສງ | ນາໂນແມັດຍ່ອຍ | ການຄວບຄຸມຂະບວນການ, ການກວດສອບການອອກແບບ |
| CRDS | ການສູນເສຍແສງທັງໝົດ (ກະແຈກກະຈາຍ + ການດູດຊຶມ) | < 1 ppm | Supermirrors, ຢູ່ຕາມໂກນລະອຽດສູງ |
| PCI | ການດູດຊຶມໂດຍກົງ | ຍ່ອຍ ppm | ແສງເລເຊີ CW ພະລັງງານສູງ |
ຮູບເງົາຫນາ, ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ໂດຍສະເພາະທີ່ຝາກຜ່ານ IBS, ສ້າງຄວາມກົດດັນທາງດ້ານຮ່າງກາຍທີ່ສໍາຄັນ. ຄວາມກົດດັນທີ່ບີບອັດຫຼື tensile ນີ້ສາມາດ warp substrate ທີ່ຕິດພັນ, ບິດເບືອນການສົ່ງຕໍ່ wavefronts ແລະສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນແລະ compromising ລັກສະນະແປຂອງ peak-to-valley ທີ່ສໍາຄັນ. ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງນີ້, ວິສະວະກອນຕ້ອງກໍານົດການເຄືອບດ້ານການຊົດເຊີຍດ້ານຫລັງທີ່ນໍາໃຊ້ຄວາມກົດດັນເທົ່າທຽມກັນແລະກົງກັນຂ້າມກັບ substrate. ນອກຈາກນັ້ນ, ການປະເມີນຄວາມສາມາດໃນການວັດແທກຂອງຜູ້ຂາຍສໍາລັບການວັດແທກແລະການແກ້ໄຂຄວາມແປນຂອງຫນ້າດິນແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນ.
ການເຄືອບທີ່ມີຮູຂຸມຂົນດູດຊຶມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຈາກຄວາມຊຸ່ມຊື່ນລ້ອມຮອບ. ພາຍໃຕ້ສະພາບສູນຍາກາດຫຼືໃນໄລຍະການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມ, ນ້ໍານີ້ desorbs, ການປ່ຽນແປງດັດຊະນີ refractive ປະສິດທິພາບຂອງຊັ້ນແລະການເຄື່ອນຍ້າຍ wavelength ການອອກແບບອອກຈາກແຖບ laser ປະຕິບັດງານ. ຍຸດທະສາດການຫຼຸດຜ່ອນຂັ້ນຕົ້ນແມ່ນເພື່ອກໍານົດເຕັກໂນໂລຢີການຝາກຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ທີ່ບໍ່ມີຮູຂຸມຂົນເຊັ່ນ IBS ຫຼື Magnetron Sputtering. ນອກຈາກນັ້ນ, ທີມງານຈັດຊື້ຄວນບັງຄັບໃຫ້ການທົດສອບຮອບວຽນຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ສອດຄ່ອງກັບມາດຕະຖານ ISO 9211-3 ຫຼື MIL-C-48497A.
ສານຕົກຄ້າງອິນຊີກ້ອງຈຸລະທັດ, ຂີ້ຝຸ່ນ, ຫຼືທາດປະສົມທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດການລະເຫີຍສາມາດຝາກໃສ່ພື້ນຜິວແສງໄດ້. ພາຍໃຕ້ແສງເລເຊີທີ່ເຂັ້ມຂຸ້ນ, ສິ່ງປົນເປື້ອນເຫຼົ່ານີ້ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນສູນກາງການດູດຊຶມສູງ, ນໍາໄປສູ່ຄວາມຮ້ອນໃນທ້ອງຖິ່ນຢ່າງໄວວາແລະຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ຮ້າຍກາດ. ການຫຼຸດຜ່ອນຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການບັງຄັບໃຊ້ໂປໂຕຄອນການຫຸ້ມຫໍ່ຫ້ອງສະອາດຢ່າງເຂັ້ມງວດ.
A: ການລະເຫີຍຂອງ E-beam ໃຊ້ພະລັງງານຄວາມຮ້ອນເພື່ອ vaporize ວັດສະດຸ, ເຮັດໃຫ້ການເຄືອບ porous, ທົນທານຫນ້ອຍມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບການປ່ຽນແປງສະພາບແວດລ້ອມ. Ion Beam Sputtering ໃຊ້ ion ທີ່ມີພະລັງງານສູງເພື່ອຝາກວັດສະດຸ, ການສ້າງສານເຄືອບທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ບໍ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງ, ແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຫມັ້ນຄົງທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບເລເຊີທີ່ມີພະລັງງານສູງແລະໄວທີ່ສຸດ.
A: ການເສື່ອມສະພາບຕໍ່າກວ່າລະດັບຄວາມເສຍຫາຍຂອງເລເຊີທີ່ລະບຸໄວ້ມັກຈະເກີດຈາກການປົນເປື້ອນຂອງສິ່ງແວດລ້ອມ, ການດູດຊຶມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນໃນສານເຄືອບ porous, ຫຼືຄວາມກົດດັນຂອງວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ. ຂີ້ຝຸ່ນກ້ອງຈຸລະທັດຫຼືການລະບາຍອາກາດທາງອິນຊີສ້າງສູນການດູດຊຶມໃນທ້ອງຖິ່ນທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງຄວາມຮ້ອນໃນທີ່ສຸດ.
A: spectrophotometers ມາດຕະຖານຂາດຄວາມອ່ອນໄຫວສໍາລັບການສະທ້ອນທີ່ຮ້າຍກາດ. Cavity Ring-Down Spectroscopy ຖືກໃຊ້ແທນ. ມັນວັດແທກເວລາການເສື່ອມໂຊມຂອງກຳມະຈອນແສງສະຫວ່າງທີ່ຕິດຢູ່ລະຫວ່າງກະຈົກໃນຊ່ອງ optical ປິດເພື່ອຄິດໄລ່ຄວາມສູນເສຍຢ່າງແນ່ນອນເປັນສ່ວນຕໍ່ລ້ານ.
A: Group Delay Dispersion ຫມາຍເຖິງປະກົດການທີ່ຄວາມຍາວ wavelength ທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງແສງສະຫວ່າງເດີນທາງໂດຍຜ່ານການເຄືອບດ້ວຍຄວາມໄວທີ່ແຕກຕ່າງກັນເລັກນ້ອຍ. ໃນເລເຊີ ultrafast, ນີ້ stretches ກໍາມະຈອນສັ້ນໃນເວລາ, ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຫຼຸດຜ່ອນພະລັງງານສູງສຸດຂອງຕົນ. ກະຈົກ chirped ພິເສດຊົດເຊີຍຜົນກະທົບນີ້.
A: ການເຄືອບໂດຍທົ່ວໄປເຮັດໃຫ້ເກີດການ warping ແທນທີ່ຈະແກ້ໄຂມັນເນື່ອງຈາກຄວາມກົດດັນພາຍໃນຫຼືຄວາມກົດດັນ tensile. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ການໃຊ້ການເຄືອບດ້ານຫລັງທີ່ຖືກວິສະວະກໍາຢ່າງແນ່ນອນສາມາດດຸ່ນດ່ຽງຄວາມກົດດັນດ້ານກົນຈັກໃນຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ຟື້ນຟູຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຜິວທີ່ຕ້ອງການ.
A: ເມື່ອມຸມຂອງເຫດການເພີ່ມຂຶ້ນ, ສາຍສົ່ງສັນຍານແລະການສະທ້ອນແສງປ່ຽນໄປສູ່ຄວາມຍາວຂອງຄື້ນທີ່ສັ້ນກວ່າ. ນອກຈາກນັ້ນ, ການຕອບສະຫນອງຂອງການເຄືອບກັບ s-polarized ແລະ p-polarized light diverges, ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການອອກແບບພິເສດເພື່ອຮັກສາປະສິດທິພາບໃນມຸມສູງ.
