ភាសាខ្មែរ
មើល៖ 0 អ្នកនិពន្ធ៖ កម្មវិធីនិពន្ធគេហទំព័រ ពេលវេលាបោះពុម្ព៖ 2026-07-13 ប្រភពដើម៖ គេហទំព័រ
ប្រព័ន្ធឡាស៊ែរដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ពឹងផ្អែកទាំងស្រុងលើឧបាយកលច្បាស់លាស់នៃពន្លឺ។ ស្រទាប់ព្រំដែនរវាងស្រទាប់ខាងក្រោមអុបទិក និងបរិស្ថានរបស់វាតំណាងឱ្យចំណុចទូទៅបំផុតនៃការបរាជ័យនៅក្នុងប្រព័ន្ធទាំងនេះ។ បញ្ជាក់ភាពមិនគ្រប់គ្រាន់ ការស្រោបអុបទិក នាំទៅរកការខូចខាតដែលបណ្ដាលមកពីឡាស៊ែរមហន្តរាយ ការបន្ថយថាមពលធ្ងន់ធ្ងរ កញ្ចក់កម្ដៅ ឬគុណភាពនៃធ្នឹមដែលរងការប៉ះពាល់។ ការបរាជ័យទាំងនេះនាំឱ្យប្រព័ន្ធចំណាយអស់រយៈពេលយូរ និងការជំនួសសមាសធាតុ។
ការយល់ដឹងអំពីយន្តការរូបវន្តនៃការទម្លាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង និងការជ្រៀតជ្រែកគឺចាំបាច់ណាស់។ វិស្វករ និងក្រុមលទ្ធកម្មត្រូវតែវាយតម្លៃសមត្ថភាពរបស់អ្នកលក់ឱ្យបានត្រឹមត្រូវ ដើម្បីធានាបាននូវភាពជាប់បានយូរនៃប្រព័ន្ធ។ អ្នកត្រូវផ្គូផ្គងបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតទៅនឹងកម្រិតឡាស៊ែរជាក់លាក់ និងកាត់បន្ថយហានិភ័យប្រតិបត្តិការរយៈពេលវែង។ យើងនឹងទម្លាយរូបវិទ្យា វិធីសាស្រ្តនៃការដាក់ប្រាក់ និងមាត្រវិទ្យាដែលត្រូវការដើម្បីបញ្ជាក់អុបទិកដែលរស់រានមានជីវិតពីបរិស្ថានឡាស៊ែរក្នុងពិភពពិត។
នៅស្នូលរបស់វា ការរៀបចំពន្លឺតាមរយៈអុបទិកស្រោប ពឹងផ្អែកលើការជ្រៀតជ្រែកនៃខ្សែភាពយន្តស្តើង។ ដោយការដាក់ស្រទាប់ជំនួសនៃសម្ភារៈសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរខ្ពស់ និងទាប វិស្វករបង្កើតលក្ខខណ្ឌព្រំដែនជាក់លាក់។ សមា្ភារៈទូទៅរួមមាន Tantalum Pentoxide, Hafnium Oxide និង Silicon Dioxide។ នៅពេលដែលរលកពន្លឺវាយប្រហារព្រំដែនទាំងនេះ ពួកវាឆ្លុះបញ្ចាំង និងបញ្ជូន។ អាស្រ័យលើកម្រាស់ស្រទាប់ និងសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ រលកទាំងនេះអាចរួមបញ្ចូលគ្នាក្នុងន័យស្ថាបនាដើម្បីបង្កើនការឆ្លុះបញ្ចាំង ឬបំផ្លិចបំផ្លាញដើម្បីបង្កើនការបញ្ជូនអតិបរមា។
ការត្រួតពិនិត្យច្បាស់លាស់នៃលក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិកទាំងនេះគឺអាស្រ័យលើការគ្រប់គ្រងការផ្លាស់ប្តូរដំណាក់កាល និងកម្រាស់អុបទិក។ ស្រទាប់ត្រូវបានរចនាឡើងជាធម្មតានៅជុំវិញកម្រាស់អុបទិកត្រីមាស (QWOT) ឬកម្រាស់អុបទិកពាក់កណ្តាលរលក (HWOT) ។ នៅពេលដែលកម្រាស់អុបទិករបស់ស្រទាប់មួយស្មើនឹងមួយភាគបួននៃប្រវែងរលកគោលដៅ រលកដែលឆ្លុះបញ្ចាំងពីព្រំដែនខាងលើ និងខាងក្រោមគឺល្អឥតខ្ចោះចេញពីដំណាក់កាល។ នេះលុបចោលពួកគេសម្រាប់ការប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង។ ផ្ទុយទៅវិញពួកវាអាចល្អឥតខ្ចោះនៅក្នុងដំណាក់កាលនៅពេលដែលជង់សម្រាប់ការឆ្លុះបញ្ចាំងខ្ពស់។ ភាពជាក់លាក់គណិតវិទ្យានៃកម្រាស់ស្រទាប់នេះកំណត់ការអនុវត្តន៍រលកចម្ងាយដែលបានកំណត់នៅទូទាំងប្រព័ន្ធទាំងមូល។
ថាមវន្តចំណុចប្រទាក់នៃស្រទាប់ខាងក្រោមមានតួនាទីសំខាន់ដូចគ្នា។ ជម្រើសនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមកំណត់មូលដ្ឋានមេកានិចនិងកម្ដៅនៃអុបទិក។ កត្តាសំខាន់មួយគឺភាពមិនស៊ីគ្នានៅក្នុងមេគុណនៃការពង្រីកកំដៅ (CTE) រវាងស្រទាប់ខាងក្រោម និងស្រទាប់ដែលបានដាក់។ ភាពមិនស៊ីសង្វាក់គ្នានៃ CTE នាំអោយមានភាពតានតឹងផ្នែកមេកានិចធ្ងន់ធ្ងរ ដែលធ្វើអោយស្រទាប់ស្រោប ស្រោបស្រទាប់ ឬខ្ចាត់ខ្ចាយស្រទាប់ខាងក្រោមក្រោមបន្ទុកកម្ដៅ។
លើសពីនេះទៅទៀត គម្លាតអេឡិចត្រូនិកនៃសម្ភារៈស្រោបដោយឌីអេឡិចត្រិចកំណត់ការអនុវត្តរបស់វា ជាពិសេសនៅចម្ងាយរលកខ្លីដូចជាអ៊ុលត្រាវីយូឡេ ឬអ៊ុលត្រាវីយូឡេជ្រៅ។ សមា្ភារៈដែលមានថាមពល bandgap ទាបស្រូបយក photons ថាមពលខ្ពស់ដែលនាំទៅដល់ការឡើងកំដៅក្នុងតំបន់។ ការកាត់បន្ថយការស្រូបយកនេះគឺចាំបាច់សម្រាប់កម្មវិធីដែលមានថាមពលខ្ពស់ដើម្បីការពារការរិចរិលកម្ដៅ និងការបរាជ័យមហន្តរាយនៃអុបទិក។ សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ
| នៃសម្ភារៈ Dielectric | (ប្រហែលនៅ 1064nm) | Bandgap Energy (eV) | វាលកម្មវិធីបឋម |
|---|---|---|---|
| ស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត | 1.45 (ទាប) | 9.0 | Broadband AR, បណ្តុំធនធានមនុស្សដែលមានថាមពលខ្ពស់។ |
| ហាហ្វនីញ៉ូមអុកស៊ីដ | 1.90 (ខ្ពស់) | 5.8 | កញ្ចក់ LIDT ខ្ពស់ កម្មវិធី UV |
| Tantalum Pentoxide | 2.05 (ខ្ពស់) | 4.2 | ទូរគមនាគមន៍, កញ្ចក់ឡាស៊ែរ CW |
| ម៉ាញ៉េស្យូមហ្វ្លុយអូរី | 1.38 (ទាប) | 10.8 | អុបទិក UV ជ្រៅ, AR ស្រទាប់តែមួយ |
មុខងារចម្បងរបស់អេ ថ្នាំកូត AR គឺដើម្បីលុបបំបាត់ការឆ្លុះបញ្ចាំងលើផ្ទៃ និងបង្កើនការបញ្ជូនពន្លឺតាមស្រទាប់ខាងក្រោម។ នេះត្រូវបានសម្រេចដោយការប្រើប្រាស់ការជ្រៀតជ្រែកបំផ្លិចបំផ្លាញ ដែលពន្លឺដែលឆ្លុះបញ្ចាំងពីចំណុចប្រទាក់ថ្នាំកូតខ្យល់ លុបចោលពន្លឺដែលឆ្លុះបញ្ចាំងពីចំណុចប្រទាក់ថ្នាំកូត-ស្រទាប់ខាងក្រោម។
គំរូនៃការរចនាប្រែប្រួលអាស្រ័យលើតម្រូវការកម្មវិធី។ ថ្នាំកូតស្រទាប់តែមួយផ្តល់នូវការកាត់បន្ថយជាមូលដ្ឋានក្នុងការឆ្លុះបញ្ចាំង។ V-coatings ត្រូវបានវិស្វកម្មសម្រាប់កម្មវិធីតូចចង្អៀត ដែលផ្តល់នូវការទប់ស្កាត់អតិបរមានៅរលកជាក់លាក់មួយ។ W-coatings ផ្តល់នូវដំណើរការ broadband រក្សាការឆ្លុះបញ្ចាំងទាបនៅទូទាំងវិសាលគមធំទូលាយ។ លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យជោគជ័យសម្រាប់ថ្នាំកូតទាំងនេះរួមមានការសម្រេចបាននូវការឆ្លុះបញ្ចាំងតិចជាង 0.1% នៅរលកនៃការរចនា និងកាត់បន្ថយការស្រូបយកផ្ទៃសំណល់ឱ្យនៅខាងក្រោម 10 ផ្នែកក្នុងមួយលាន។
កញ្ចក់ឌីអេឡិចត្រិចដែលមានការឆ្លុះបញ្ចាំងខ្ពស់ប្រើប្រាស់ការជ្រៀតជ្រែកក្នុងន័យស្ថាបនាឆ្លងកាត់ស្រទាប់ឌីអេឡិចត្រិចឆ្លាស់គ្នារាប់សិប ដើម្បីសម្រេចបាននូវការឆ្លុះបញ្ចាំងជិតល្អឥតខ្ចោះ។ តាមរយៈការដាក់ជង់ជំនួសសមា្ភារៈសន្ទស្សន៍ខ្ពស់ និងទាប រលកដែលបានឆ្លុះបញ្ចាំងពីចំណុចប្រទាក់នីមួយៗរួមបញ្ចូលគ្នាយ៉ាងស្ថាបនា។ រចនាសម្ព័ន្ធទាំងនេះត្រូវបានសំដៅជាទូទៅថាជាឧបករណ៍ឆ្លុះបញ្ចាំង Bragg ។
យុទ្ធសាស្រ្តរចនាដ៏សំខាន់សម្រាប់កញ្ចក់ HR នៅក្នុងប្រព័ន្ធថាមពលខ្ពស់គឺការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពវាលអគ្គិសនី។ វិស្វកររចនាស្រទាប់ជង់ដើម្បីកំណត់ទីតាំងអាំងតង់ស៊ីតេវាលអគ្គិសនីកំពូលឱ្យនៅឆ្ងាយពីចំណុចប្រទាក់ស្រទាប់ និងឆ្ងាយពីវត្ថុធាតុសន្ទស្សន៍ខ្ពស់។ សមា្ភារៈដែលមានលិបិក្រមខ្ពស់ជាធម្មតាងាយនឹងការខូចខាតឡាស៊ែរ។ លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យជោគជ័យពាក់ព័ន្ធនឹងការឈានដល់កម្រិតឆ្លុះបញ្ចាំងពីធំជាង 99.9% ដល់ជាង 99.999% ការរក្សាស្ថេរភាពដំណាក់កាលនៅពេលឆ្លុះបញ្ចាំង និងគ្រប់គ្រងដោយប្រុងប្រយ័ត្ននូវការដោះដូររវាងកម្រិតបញ្ជូននៃការឆ្លុះបញ្ចាំង និងការឆ្លុះបញ្ចាំងខ្ពស់បំផុត។
ថ្នាំកូតឯកទេសទាំងនេះត្រូវបានវិស្វកម្មដើម្បីបញ្ជូនរលកពន្លឺជាក់លាក់ ឬស្ថានភាពប៉ូល ខណៈពេលដែលឆ្លុះបញ្ចាំងពីអ្នកដទៃ។ ឧទាហរណ៍ Thin Film Polarizers ត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីដំណើរការនៅ Brewster's Angle ដោយបំបែកពន្លឺ s-polarized និង p-polarized ជាមួយនឹងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។
លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យជោគជ័យសម្រាប់ជង់ស្មុគ្រស្មាញទាំងនេះរួមមានជម្រាលនៃការផ្លាស់ប្តូរដ៏មុតស្រួចរវាងខ្សែបញ្ជូន និងការឆ្លុះបញ្ចាំង ដែលធានាបាននូវការត្រួតស៊ីគ្នានៃសញ្ញាតិចតួចបំផុត។ អនុបាតការផុតពូជប៉ូឡូញខ្ពស់គឺចាំបាច់សម្រាប់រក្សាភាពបរិសុទ្ធនៃធ្នឹម។ លើសពីនេះ ថ្នាំកូតទាំងនេះត្រូវតែរក្សាបាននូវដំណើរការជាក់លាក់របស់វា ទោះបីជាមានការប្រែប្រួលបន្តិចបន្តួចនៅក្នុងមុំនៃឧប្បត្តិហេតុក្នុងអំឡុងពេលតម្រឹមប្រព័ន្ធក៏ដោយ។
ការរំហួតរបស់ Electron Beam ពាក់ព័ន្ធនឹងការបំភាយកំដៅនៃសម្ភារៈប្រភពនៅក្នុងបន្ទប់ទំនេរខ្ពស់ដោយប្រើធ្នឹមអេឡិចត្រុងផ្តោត។ វត្ថុធាតុចំហាយ ជ្រាបចូលទៅក្នុងស្រទាប់ខាងក្រោម ដែលមានទីតាំងនៅខាងលើប្រភព។ ខណៈពេលដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ និងត្រូវគ្នាជាមួយសម្ភារៈជាច្រើន ដំណើរការនេះងាយនឹងខូចទ្រង់ទ្រាយនៃដុំពកដែលបង្កើតឡើងដោយការស្តោះទឹកមាត់ប្រភព។ ដុំពកទាំងនេះដើរតួជាគ្រាប់ពូជចម្បងសម្រាប់ការខូចខាតឡាស៊ែរដែលបានធ្វើមូលដ្ឋានីយកម្ម។
E-beam ផលិតខ្សែភាពយន្តដែលមានលក្ខណៈ porous និង columnar ។ រចនាសម្ព័ន្ធ porous ទាំងនេះគឺងាយនឹងស្រូបយកសំណើមពីបរិស្ថានដែលនាំឱ្យមានការផ្លាស់ប្តូរវិសាលគមនៅពេលដែលសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរផ្លាស់ប្តូរ។ វានៅតែស័ក្តិសមបំផុតសម្រាប់ថាមពលទាបទៅមធ្យម កម្មវិធីដែលងាយនឹងចំណាយ ដែលស្ថេរភាពបរិស្ថានខ្លាំងមិនមែនជាកង្វល់ចម្បងនោះទេ។
Ion-Assisted Deposition បំពេញបន្ថែមដំណើរការរំហួត E-beam ស្តង់ដារជាមួយនឹងធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងដ៏ស្វាហាប់ ជាធម្មតា Argon ឬ Oxygen។ នៅពេលដែលម៉ូលេគុលហួតបានប្រមូលផ្តុំនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងបំផ្ទុះខ្សែភាពយន្តដែលកំពុងលូតលាស់ បង្រួមស្រទាប់។ នេះបណ្តាលឱ្យមានដង់ស៊ីតេវេចខ្ចប់ខ្ពស់ជាងមុន និងស្ថេរភាពបរិស្ថានល្អប្រសើរជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងការហួត E-beam ស្តង់ដារ។ IAD ផ្តល់នូវមូលដ្ឋានកណ្តាលដ៏រឹងមាំ ដោយផ្តល់នូវភាពធន់ដែលប្រសើរឡើងក្នុងការចំណាយទាប និងរយៈពេលវដ្តលឿនជាងដំណើរការ sputtering កម្រិតខ្ពស់។
Magnetron Sputtering គឺជាដំណើរការដែលជំរុញដោយប្លាស្មា ដែលវត្ថុធាតុគោលដៅត្រូវបានបំផ្ទុះដោយអ៊ីយ៉ុងថាមពលនៅក្រោមវាលម៉ាញេទិកខ្លាំង។ នេះបណ្តេញអាតូមចេញពីគោលដៅ ដែលបន្ទាប់មកដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោម។ ខ្សែភាពយន្តលទ្ធផលមានឯកសណ្ឋានខ្ពស់ ក្រាស់ និងអាម៉ូហ្វ។
បច្ចេកវិទ្យានេះផ្តល់នូវអត្រានៃការដាក់ប្រាក់ខ្ពស់ និងអាចធ្វើម្តងទៀតបានពិសេសលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមធំ។ ដោយសារតែខ្សែភាពយន្តមានក្រាស់ និងមិនជ្រាបទឹក ពួកវាបង្ហាញការផ្លាស់ប្តូរសំណើមជិតសូន្យ និងធន់មេកានិចខ្ពស់។ នេះធ្វើឱ្យពួកវាស័ក្តិសមសម្រាប់ប្រព័ន្ធឡាស៊ែរឧស្សាហកម្មដែលមានថាមពលខ្ពស់ដែលដំណើរការក្នុងបរិយាកាសប្រែប្រួល។
Ion Beam Sputtering តំណាងឱ្យចំណុចកំពូលនៃ ថ្នាំកូតខ្សែភាពយន្តស្តើង ។ បច្ចេកវិទ្យា ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់បំផ្ទុះវត្ថុគោលដៅ ដោយបញ្ចេញអាតូមដែលមានថាមពល kinetic ខ្ពស់ខ្លាំងទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលបង្វិល។ ដំណើរការនេះផលិតនូវថ្នាំកូតដែលក្រាស់ រលោង និងស្ទើរតែគ្មានពិការភាព។
ថ្នាំកូត IBS បង្ហាញការខ្ចាត់ខ្ចាយជិតសូន្យ និងកម្រិតស្រូបយកក្រោម 1 ppm ។ បច្ចេកវិទ្យានេះគឺចាំបាច់សម្រាប់ឡាស៊ែរដែលមានល្បឿនលឿនបំផុត បែហោងធ្មែញអុបទិកខ្ពស់ និងកម្មវិធីដែលទាមទារកម្រិតនៃការខូចខាតដោយឡាស៊ែរខ្លាំងបំផុត។ ការដោះដូរបឋមគឺជាថ្លៃដើមបុព្វលាភ និងរយៈពេលនៃវដ្តនៃការដាក់ប្រាក់កាន់តែយូរ។
| Deposition Technology | Film Density | Defect Level | ស្ថេរភាពបរិស្ថាន | កម្មវិធីបឋមនៃ |
|---|---|---|---|---|
| អ៊ី-ប៊ីមហួត | ទាប (រន្ធញើស) | ពីមធ្យមទៅខ្ពស់។ | ទាប (ការផ្លាស់ប្តូរទស្សនីយភាព) | អុបទិកថាមពលទាប |
| ការដាក់ជំនួយអ៊ីយ៉ុង | មធ្យម | មធ្យម | មធ្យម | ឡាស៊ែរគោលបំណងទូទៅ |
| មេដែកស្ពែរ | ខ្ពស់។ | ទាប | ខ្ពស់។ | ឡាស៊ែរឧស្សាហកម្ម |
| អ៊ីយ៉ុង Beam Sputtering | ខ្ពស់ណាស់។ | ទាបខ្លាំង | ខ្ពស់ណាស់។ | ឡាស៊ែរលឿនបំផុត LIDT ខ្លាំង |
កម្រិតនៃការខូចខាតដែលបណ្ដាលមកពីឡាស៊ែរ គឺជាពន្លឺអុបទិក ឬអាំងតង់ស៊ីតេអតិបរមា ដែលថ្នាំកូតអាចទប់ទល់បាន មុនពេលការរិចរិលរាងកាយកើតឡើង។ ម៉ែត្រនេះត្រូវតែត្រូវបានបញ្ជាក់ក្រោមស្តង់ដារ ISO 21254 ដ៏តឹងរឹង ដើម្បីធានាបាននូវភាពជឿជាក់។ យន្តការនៃការខូចខាតប្រែប្រួលយ៉ាងខ្លាំងអាស្រ័យលើរបបប្រតិបត្តិការរបស់ឡាស៊ែរ។
នៅក្នុងរបបរលកបន្ត ឬជីពចរវែង ការខូចខាតត្រូវបានជំរុញជាចម្បងដោយការស្រូបកម្ដៅ និងលក្ខណៈសម្បត្តិដឹកជញ្ជូនកម្ដៅនៃព្រំដែនថ្នាំកូត-ស្រទាប់ខាងក្រោម។ ការប្រមូលផ្តុំកំដៅនាំឱ្យរលាយឬភាពតានតឹងកម្ដៅ។ នៅក្នុងរបបជីពចរខ្លី ការខូចខាតត្រូវបានគ្របដណ្ដប់ដោយការខូចទ្រង់ទ្រាយអេឡិចត្រូនិកដែលបានធ្វើមូលដ្ឋានីយកម្មដែលជំរុញដោយពិការភាព។ សម្រាប់ជីពចរដែលលឿនជ្រុល ការខូចខាតត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយយន្តការអ៊ីយ៉ុងអ៊ីយ៉ុងដែលមិនមែនជាលីនេអ៊ែរ ដូចជា អ៊ីយ៉ូដពហុហ្វូតូន និងអ៊ីយ៉ូដ avalanche ដែលកើតឡើងដោយឯករាជ្យពីពិការភាពផលិតកម្មបុរាណ។
ការវាយតម្លៃសមត្ថភាពរបស់អ្នកលក់តម្រូវឱ្យពិនិត្យមើលសមត្ថភាពរបស់ពួកគេក្នុងការផ្តល់នូវភាពជាក់លាក់នៃរលកពន្លឺច្បាស់លាស់។ នេះរាប់ចាប់ពីការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពរលកតែមួយ ដល់កម្រិតស្មុគស្មាញ dual-band ឬតម្រូវការដំណើរការវិសាលគមដែលអាចលៃតម្រូវបានយ៉ាងទូលំទូលាយ។ មុំនៃឧប្បត្តិហេតុនិងភាពប្រែប្រួលនៃបន្ទាត់រាងប៉ូលគឺជាកត្តាសំខាន់។ នៅពេលដែល AOI កើនឡើង ការបញ្ជូនវិសាលគម និងការឆ្លុះបញ្ចាំងពីធម្មជាតិផ្លាស់ប្តូរទៅចុងពណ៌ខៀវនៃវិសាលគម។ លើសពីនេះ ទម្រង់ការអនុវត្តសម្រាប់ p-polarization និង s-polarization ខុសគ្នាយ៉ាងខ្លាំងនៅ AOIs ខ្ពស់ ដែលទាមទារការរចនាស្រទាប់ស្មុគស្មាញដើម្បីរក្សាលក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិកដែលចង់បាន។
ប្រព័ន្ធឡាស៊ែរ Ultrafast ប្រឈមមុខនឹងបញ្ហាតែមួយគត់ទាក់ទងនឹងការបែកខ្ញែក។ ថ្នាំកូតស្តង់ដារមានការបែកខ្ចាត់ខ្ចាយដោយធម្មជាតិដែលបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយពន្លឺឡាស៊ែរ femtosecond ពង្រីកពួកវានៅក្នុងដែនពេលវេលា និងកាត់បន្ថយថាមពលកំពូលរបស់ពួកគេយ៉ាងខ្លាំង។ ដើម្បីប្រយុទ្ធប្រឆាំងនឹងនេះ, ឡាស៊ែរអុបទិក ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់កម្មវិធីលឿនបំផុត ប្រើប្រាស់កញ្ចក់ដែលផ្តល់សំណងដោយ Chirped និង GDD ។ ការវាយតម្លៃអ្នកលក់ពាក់ព័ន្ធនឹងការវាយតម្លៃសមត្ថភាពរបស់ពួកគេក្នុងការរចនា និងផលិតថ្នាំកូតជាមួយនឹងកម្រាស់ស្រទាប់អថេរជាក់លាក់។ រចនាសម្ព័ន្ធទាំងនេះផ្តល់នូវការបែកខ្ញែកអវិជ្ជមានជាក់លាក់ដើម្បីបង្រួមជីពចរឬរក្សារយៈពេលខ្លីនៃជីពចរពេញផ្លូវអុបទិក។
ឧបករណ៍ spectrophotometers ស្តង់ដារមិនអាចវាស់វែងបានត្រឹមត្រូវនូវការឆ្លុះបញ្ចាំងលើសពី 99.9% ទេ។ Cavity Ring-Down Spectroscopy ត្រូវបានអនុវត្តដើម្បីផ្ទៀងផ្ទាត់ការឆ្លុះបញ្ចាំងយ៉ាងខ្លាំង និងកំណត់បរិមាណនៃការបាត់បង់អុបទិករួម ដែលរួមមានទាំងការស្រូបយក និងការខ្ចាត់ខ្ចាយនៅក្នុងកញ្ចក់ដែលមានភាពច្បាស់ខ្ពស់។ យន្តការនេះពាក់ព័ន្ធនឹងការបញ្ចូលជីពចរឡាស៊ែរទៅក្នុងបែហោងធ្មែញអុបទិកខ្ពស់ដែលបង្កើតឡើងដោយអុបទិកសាកល្បង។ ប្រព័ន្ធវាស់ស្ទង់អត្រានៃការពុកផុយនៃពន្លឺដែលជាប់នៅក្នុងបែហោងធ្មែញ ដោយផ្តល់នូវការវាស់វែងយ៉ាងជាក់លាក់ខ្ពស់នៃការបាត់បង់បែហោងធ្មែញសរុប។
Photothermal Common-Path Interferometry ត្រូវបានប្រើប្រាស់សម្រាប់វាស់ដោយផ្ទាល់នូវការស្រូបយកទាបបំផុតចុះក្រោមដល់កម្រិតរង ppm ទាំងស្រទាប់ខាងក្រោម និងស្រទាប់។ យន្តការនេះប្រើប្រាស់ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធឡាស៊ែរបូម។ ឡាស៊ែរបូមដែលមានថាមពលខ្ពស់នៅក្នុងមូលដ្ឋានកំដៅគំរូដែលបណ្តាលឱ្យមានការផ្លាស់ប្តូរបន្តិចបន្តួចនៅក្នុងសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ។ ធ្នឹមស៊ើបអង្កេតខ្សោយឆ្លងកាត់តំបន់ដែលគេឱ្យឈ្មោះថា ហើយការផ្លាស់ប្តូរដំណាក់កាលលទ្ធផលត្រូវបានរកឃើញ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការគណនាច្បាស់លាស់នៃមេគុណស្រូបយក។
Spectrophotometry នៅតែជាស្តង់ដារសម្រាប់បញ្ជាក់ទម្រង់វិសាលគម វាស់ការបញ្ជូន និងការឆ្លុះបញ្ចាំងតាមរលកចម្ងាយធំទូលាយ។ Ellipsometry ត្រូវបានប្រើប្រាស់ដើម្បីកំណត់កម្រាស់ស្រទាប់ពិតប្រាកដ និងទម្រង់សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរដ៏ស្មុគស្មាញនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ទុក ដោយធានាថារចនាសម្ព័ន្ធរូបវន្តត្រូវគ្នានឹងការរចនាទ្រឹស្តី។
| Metrology Technique | ប៉ារ៉ាម៉ែត្ររង្វាស់បឋម | ភាពរសើប កំណត់ | ករណីប្រើប្រាស់ធម្មតា។ |
|---|---|---|---|
| ទស្សនវិជ្ជា | ការបញ្ជូន / ការឆ្លុះបញ្ចាំង | ~0.1% | ការផ្ទៀងផ្ទាត់ AR/HR ស្តង់ដារ |
| Ellipsometry | កម្រាស់ស្រទាប់ / សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ | អនុណាណូម៉ែត្រ | ការត្រួតពិនិត្យដំណើរការ, សុពលភាពនៃការរចនា |
| CRDS | ការបាត់បង់អុបទិកសរុប (ខ្ចាត់ខ្ចាយ + ការស្រូបយក) | < 1 ppm | កញ្ចក់ឆ្លុះ, បែហោងធ្មែញខ្ពស់។ |
| PCI | ការស្រូបយកដោយផ្ទាល់ | អនុ ppm | អុបទិកឡាស៊ែរ CW ថាមពលខ្ពស់។ |
ខ្សែភាពយន្តក្រាស់ និងក្រាស់ ជាពិសេសខ្សែភាពយន្តដែលដាក់តាមរយៈ IBS បង្កើតភាពតានតឹងផ្នែករាងកាយយ៉ាងសំខាន់។ ភាពតានតឹងដែលបានបង្ហាប់ ឬតានតឹងនេះអាចបំប្លែងស្រទាប់ខាងក្រោម ដែលបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយរលកដែលបានបញ្ជូន និងឆ្លុះបញ្ចាំង និងធ្វើឱ្យខូចលក្ខណៈជាក់លាក់នៃកម្រិតភាពរាបស្មើពីកំពូលទៅជ្រលងភ្នំ។ ដើម្បីកាត់បន្ថយហានិភ័យនេះ វិស្វករត្រូវតែបញ្ជាក់ថ្នាំកូតសំណងផ្នែកខាងក្រោយ ដែលអនុវត្តភាពតានតឹងស្មើគ្នា និងផ្ទុយទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោម។ ជាងនេះទៅទៀត ការវាយតម្លៃសមត្ថភាពវាស់វែងរបស់អ្នកលក់សម្រាប់វាស់ និងកែតម្រូវផ្ទៃរាបស្មើក្រោយការទម្លាក់គឺចាំបាច់។
ថ្នាំកូតដែលមានរន្ធញើសស្រូបយកសំណើមពីសំណើមបរិយាកាស។ នៅក្រោមលក្ខខណ្ឌខ្វះចន្លោះ ឬអំឡុងពេលការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព ទឹកនេះ desorbs ផ្លាស់ប្តូរសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរដ៏មានប្រសិទ្ធភាពនៃស្រទាប់ និងការផ្លាស់ប្តូររលកនៃការរចនាចេញពីក្រុមឡាស៊ែរប្រតិបត្តិការ។ យុទ្ធសាស្ត្រកាត់បន្ថយបឋមគឺដើម្បីបញ្ជាក់បច្ចេកវិទ្យានៃការដាក់ស្រទាប់ក្រាស់ និងមិនមានរន្ធដូចជា IBS ឬ Magnetron Sputtering ជាដើម។ លើសពីនេះ ក្រុមលទ្ធកម្មគួរតែកំណត់ការធ្វើតេស្តជិះកង់កម្ដៅ និងសំណើមដែលអនុលោមតាមស្តង់ដារ ISO 9211-3 ឬ MIL-C-48497A ។
សំណល់សរីរាង្គមីក្រូទស្សន៍ ធូលី ឬសមាសធាតុបញ្ចេញឧស្ម័នដែលងាយនឹងបង្កជាហេតុអាចដាក់លើផ្ទៃអុបទិក។ នៅក្រោមការបំភ្លឺដោយឡាស៊ែរខ្លាំង ភាពកខ្វក់ទាំងនេះដើរតួជាមជ្ឈមណ្ឌលស្រូបយកខ្ពស់ ដែលនាំទៅដល់ការឡើងកំដៅក្នុងមូលដ្ឋានយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងការបរាជ័យកម្ដៅដ៏មហន្តរាយ។ ការបន្ធូរបន្ថយតម្រូវឱ្យអនុវត្តពិធីការវេចខ្ចប់បន្ទប់ស្អាតយ៉ាងតឹងរឹង។
ចម្លើយៈ ការហួតរបស់ E-beam ប្រើប្រាស់ថាមពលកម្ដៅដើម្បីបំភាយវត្ថុធាតុ ដែលបណ្តាលឱ្យមានសារធាតុជ្រាបចូល និងប្រើប្រាស់បានយូរតិច ដែលងាយនឹងផ្លាស់ប្តូរបរិស្ថាន។ Ion Beam Sputtering ប្រើអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់ដើម្បីដាក់វត្ថុធាតុ បង្កើតស្រទាប់ស្រោបក្រាស់ខ្លាំង គ្មានពិការភាព និងមានស្ថេរភាពបរិស្ថានដែលត្រូវការសម្រាប់ឡាស៊ែរដែលមានថាមពលខ្ពស់ និងលឿនបំផុត។
ចម្លើយ៖ ការរិចរិលនៅក្រោមកម្រិតនៃការខូចខាតដែលបណ្តាលមកពីឡាស៊ែរដែលបានបញ្ជាក់ ជារឿយៗបណ្តាលមកពីការបំពុលបរិស្ថាន ការស្រូបយកសំណើមនៅក្នុងថ្នាំកូតដែលមានរន្ធញើស ឬភាពតានតឹងនៃការជិះកង់កម្ដៅ។ ធូលីមីក្រូទស្សន៍ ឬការបញ្ចេញឧស្ម័នសរីរាង្គបង្កើតមជ្ឈមណ្ឌលស្រូបយកដែលបានធ្វើមូលដ្ឋានីយកម្ម ដែលនៅទីបំផុតបណ្តាលឱ្យបរាជ័យកម្ដៅ។
A: ស្តង់ដារ spectrophotometers ខ្វះភាពប្រែប្រួលសម្រាប់ការឆ្លុះបញ្ចាំងខ្លាំង។ Cavity Ring-Down Spectroscopy ត្រូវបានប្រើជំនួសវិញ។ វាវាស់ពេលវេលានៃការពុកផុយនៃជីពចរពន្លឺដែលជាប់នៅចន្លោះកញ្ចក់នៅក្នុងបែហោងធ្មែញអុបទិកដែលបិទជិត ដើម្បីគណនាការខាតបង់យ៉ាងជាក់លាក់ដល់ផ្នែកក្នុងមួយលាន។
A: Group Delay Dispersion សំដៅទៅលើបាតុភូតដែលរលកពន្លឺខុសៗគ្នាធ្វើដំណើរឆ្លងកាត់ស្រទាប់ស្រោបក្នុងល្បឿនខុសគ្នាបន្តិច។ នៅក្នុងឡាស៊ែរ ultrafast នេះពង្រីកជីពចរក្នុងរយៈពេលខ្លី ដោយកាត់បន្ថយថាមពលកំពូលរបស់វា។ កញ្ចក់ស្រែកច្រៀងពិសេសទូទាត់សងសម្រាប់ឥទ្ធិពលនេះ។
ចម្លើយៈ ជាទូទៅ ថ្នាំកូតបណ្តាលឱ្យមានការប្រែប្រួលជាជាងជួសជុលវា ដោយសារភាពតានតឹងផ្នែកខាងក្នុង ឬភាពតានតឹង។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ការប្រើថ្នាំកូតសំណងផ្នែកខាងក្រោយដែលត្រូវបានវិស្វកម្មយ៉ាងជាក់លាក់ អាចធ្វើឱ្យមានតុល្យភាពនៃភាពតានតឹងផ្នែកមេកានិចនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ដោយស្ដារឡើងវិញនូវភាពរាបស្មើនៃផ្ទៃដែលទាមទាររបស់អុបទិក។
ចម្លើយ៖ នៅពេលដែលមុំនៃឧប្បត្តិហេតុកើនឡើង ខ្សែបញ្ជូនវិសាលគម និងការឆ្លុះបញ្ចាំងផ្លាស់ប្តូរឆ្ពោះទៅរកប្រវែងរលកខ្លីជាង។ លើសពីនេះទៀត ការឆ្លើយតបរបស់ថ្នាំកូតទៅនឹងពន្លឺ s-polarized និង p-polarized ខុសគ្នា ដែលទាមទារការរចនាឯកទេស ដើម្បីរក្សាការអនុវត្តនៅមុំខ្ពស់។
