Tirohanga: 0 Kaituhi: Kaiwhakatika Pae Wā Whakaputa: 2026-07-13 Takenga: Pae
Ko nga punaha laser mahi teitei ka whakawhirinaki katoa ki te mahi tika o te marama. Ko te paparanga rohe i waenga i te taputapu optic me tona taiao e tohu ana i te waahi o te koretake o enei punaha. Te tautuhi i te takarepa Ko te Whakakikorua Matapihi ka arahi ki te kino o te taiaho-ahuru, te ngoikore o te hiko, te whakamaarama waiariki, te kounga kurupae ranei. Ko enei ngoikoretanga ka nui te utu o te punaha me te whakakapi i nga waahanga.
He mea nui te mohio ki nga mahi a tinana o te whakatakoto kiriata angiangi me te pokanoa. Ko nga miihini me nga roopu hoko me arotake tika i nga kaha o te kaihoko ki te whakarite kia roa te punaha. Me whakataurite koe i nga hangarau whakakikorua ki nga paepae taiaho motuhake me te whakaiti i nga tupono whakahaere mo te wa roa. Ka pakaruhia e matou te ahupūngao, nga tikanga whakaheke, me te metrology e hiahiatia ana hei tohu i nga optics e ora ana i nga taiao laser o te ao.
I tona uho, ko te raweke o te marama i roto i nga whatu whakakikorua ka whakawhirinaki ki te pokanoa kiriata angiangi. Ma te whakatakoto i nga paparanga taurangi teitei me te iti, ka hangaia e nga miihini nga tikanga rohe motuhake. Ko nga mea noa ko Tantalum Pentoxide, Hafnium Oxide, me te Silicon Dioxide. I te wa e pa ana nga ngaru marama ki enei rohe, ka whakaata, ka tuku. I runga i te matotoru o te paparanga me nga tohu tohu, ka hono pai enei ngaru ki te whakarei ake i te whakaata, ki te kino ranei ki te whakanui i te tuku.
Ko te mana tika o enei taonga whatu ka whakawhirinaki ki te whakahaere i nga huringa wahanga me te matotoru whatu. I te nuinga o te wa ka hangaia nga papa ki te taha o te hauwha-wave whatu matotoru (QWOT) ranei hawhe-ngaru whatu matotoru (HWOT). Ina rite tonu te matotoru whatu o te paparanga ki te hauwhā o te roangaru i whäia, ka tino wehe nga ngaru whakaata mai i nga rohe o runga me raro. Ma tenei ka whakakore i a raatau mo te whakamaarama. I tua atu, ka taea e ratou te noho pai i te waahanga ka taapuhia mo te whakaata teitei. Ko te tika o te pangarau o tenei matotoru paparanga e tohu ana i nga mahi roangaru e whaaia ana puta noa i te punaha.
He rite tonu te mahi a te atanga whakakikorua o te papaahi. Ko te kowhiringa o nga rawa taputapu ka whakatau i te turanga miihini me te waiariki o te whatu. Ko te take nui ko te kore orite o te Whakarea o te Whakawhanui Ngaaariki (CTE) i waenga i te tïpako me nga paparanga kua whakatakotoria. Ko nga koretake nui o te CTE ka arahi ki te ahotea miihini nui, ka porangi te paninga, ka wetewete, ka weriweri ranei te tïpako i raro i nga kawenga waiariki.
I tua atu, ko te roopu hiko o nga taonga whakakikorua dielectric e whakaiti ana i o raatau mahi, ina koa ki nga roangaru poto penei i te Ultraviolet or Deep Ultraviolet. Ko nga rawa he iti ake te kaha o te aputa roopu ka uru ki nga whakaahua kaha-nui, ka ahu atu ki te whakamahana rohe. Ko te whakaiti i tenei whakaurunga he mea tika mo nga tono mana-nui hei aukati i te paheketanga o te waiariki me te kore kino o te whatu. Taupū Mataaro
| Rauemi Dielectric | (tata ki te 1064nm) | Pūngao Mokowhiti (eV) | Pae Tono Tuatahi |
|---|---|---|---|
| Hikoha hauhā | 1.45 (Paheke) | 9.0 | AR Awhanui, Nga taapu HR mana teitei |
| Hafnium Oxide | 1.90 (Teitei) | 5.8 | Whakaata High-LIDT, tono UV |
| Tantalum Pentoxide | 2.05 (Teitei) | 4.2 | Telecom, nga whakaata laser CW |
| Te konupora Fluoride | 1.38 (Paheke) | 10.8 | Matau UV hohonu, AR paparanga kotahi |
Ko te mahi tuatahi o te Ko te paninga AR he whakakore i nga whakaata o te mata me te whakanui i te tuku marama ma te taputapu. Ka tutuki tenei ma te whakamahi i te wawaotanga kino, i reira te rama e whakaatahia ana mai i te atanga paninga-a-rangi ka whakakore i te rama e whakaatahia ana mai i te atanga paninga-papa.
He rereke nga tauira hoahoa i runga i nga whakaritenga tono. Ko nga paninga kotahi-papa e whakarato ana i te whakaiti taketake i roto i te whakaata. Ko nga whakakikorua-V kua hangaia mo nga tono whaaiti, e tuku ana i te pehi morahi i te roangaru motuhake kotahi. Ko nga whakakikorua-W e whakarato ana i te mahinga aunui, e pupuri ana i te iti o te whakaata huri noa i te whānuitanga whanui. Ko nga paearu angitu mo enei paninga ko te iti iho i te 0.1% te whakaata i te roangaru hoahoa me te whakaiti i te toenga o te whakaurunga o te mata ki raro iho i te 10 nga wahanga mo ia miriona.
Ka whakamahia e nga whakaata dielectric High-Reflectivity te wawaotanga pai puta noa i te maha o nga paparanga dielectric tauutuutu kia tutuki te whakaata tata-tino. Ma te whakahiato i nga rauemi tohu teitei me te iti, ka hono pai nga ngaru whakaata mai ia atanga. Ko enei hanganga ka kiia ko Bragg reflectors.
Ko te rautaki hoahoa nui mo nga whakaata HR i roto i nga punaha hiko teitei ko te Hiko Mahere arotautanga. Ka hangaia e nga miihini te paparanga paparanga hei whakanoho i te teitei o te waahi hiko mai i nga atanga paparanga me te tawhiti atu i nga rauemi taupae teitei. Ko nga rauemi tohu-nui ka kaha ake ki te kino o te laser. Ko nga paearu angitu ko te eke ki nga taumata whakaata mai i te nui ake i te 99.9% ki te neke atu i te 99.999%, te whakapumau i te pumau o te wahanga i runga i te whakaata, me te ata whakahaere i te tauwhitinga i waenga i te bandwidth whakaata me te whakaata teitei.
Ko enei paninga motuhake ka hangaia hei tuku i nga roangaru motuhake, i nga ahuatanga polarization ranei i te wa e whakaata ana i etahi atu. Hei tauira, Ko nga Polarizer Kiriata Angiangi i hangaia hei mahi i te Koki o Brewster, ka wehe i te rama s-polarized me te p-polarized me te tino pai.
Ko nga paearu angitu mo enei puranga matatini ko nga titahatanga whakawhiti koi i waenga i nga roopu tuku me te whakaata, me te iti o te tohu inaki. He mea nui te nui o te mate polarization hei pupuri i te ma o te kurupae. I tua atu, ko enei paninga me mau tonu o raatau mahi ahakoa he iti noa nga rereketanga o te Koki o te Paanga i te wa e tirohia ana te punaha.
Ko te whakaetonga irahiko kurupae ko te whakaetonga waiariki o nga rauemi puna i roto i te ruma korehau teitei ma te whakamahi i te kurupae irahiko arotahi. Ko nga mea whakangohu ka whakamatao ki runga i nga taputapu kei runga ake i te puna. Ahakoa he tino utu nui me te hototahi ki te whānuitanga o nga rauemi, ka whakaraerae tenei tukanga ki nga koha nodule i puta mai i te tuwha puna. Ko enei nodule ka mahi hei kakano tuatahi mo te kino laser rohe.
Ko te kurupae-e e whakaputa ana i nga kiriata ahua poroporoporo. Ko enei hanganga maiangi he ngawari ki te urunga makuku mai i te taiao, ka puta ki te neke whakakitenga i te wa e huri ana te tohu tohu. He pai rawa atu mo te mana iti-ki-waenganui, mo nga tono tairongo-utu karekau ko te tino pumau o te taiao te kaupapa matua.
Ko te Whakaaetanga Awhina Katote hei taapiri i te tikanga whakaetonga kurupae E-paerewa me te kurupae katote hihiko, ko Argon, Oxygen ranei. I te wa e pupuhi ana nga ngota ngota kua whakaeto ki runga i te tïpako, ka pupuhi te kurupae katote i te kiriata e tipu haere ana, ka whakatiki i nga paparanga. Ko tenei ka nui ake te kiato o te tarapi me te tino pai ake o te noho o te taiao i whakaritea ki te whakaetonga E-beam paerewa. Ka tukuna e te IAD tetahi papa waenga kaha, e whakarato ana i te roanga ake i te utu iti ake me te tere o te huringa tere atu i nga tukanga sputtering matatau.
Ko te Magnetron Sputtering he mahinga plasma-peia e pupuhihia ana nga taonga e whaaia ana e nga katote hihiko i raro i nga mara autō kaha. Ma tenei ka peia nga ngota mai i te whaainga, ka waiho ki runga i te tïpako. Ko nga kiriata ka puta he tino rite, he matotoru, he amorphous.
Ko tenei hangarau e tuku reiti putunga teitei me te tukuruatanga motuhake ki nga waahi tïpako nui. Na te mea he matotoru me te kore-porous nga kiriata, ka whakaatuhia e ratou te neke tata-kore o te haumākū me te mauroa o te miihini. Ma tenei e tino pai ana mo nga punaha laser ahumahi kaha e mahi ana i nga taiao rereke.
Ko te Ion Beam Sputtering e tohu ana i te tihi o whakakikorua kiriata kikokore . hangarau Ko nga kurupae katote kaha-nui ka pupuhi i tetahi rawa i whaaia, ka pupuhi i nga ngota me te tino kaha o te hihiko ki runga i te taputapu hurihuri. Ko tenei tukanga ka whakaputa i nga paninga amorphous tino matotoru, maeneene, me te kore he koha.
Ko nga paninga IBS e whakaatu ana i te marara tata-kore me nga taumata whakauru i raro i te 1 ppm. Ko tenei hangarau he whakahau mo nga laser ultrafast, nga kohao whatu tino pai, me nga tono e kii ana i nga Paepae Tukino Taiaho. Ko nga utu hokohoko tuatahi ko te utu moni me te wa roa o te huringa tukunga.
| Hangarau Whakatakoto | Kiriata Kiato | Koha Taumata | Whakamaunga Taiao | Tono Tuatahi |
|---|---|---|---|---|
| Whakaetonga E-Kurupae | Haka (Porous) | Tauwari ki Teitei | Iti (Te Huri Matakite) | Mataiti iti-mana |
| Whakatakotoranga Katote-Awhina | Waenga | Whakaōrite | Waenga | lasers kaupapa whānui |
| Te Maamaa Magnetron | Teitei | Iti | Teitei | lasers ahumahi |
| Te Katote Beam Sputtering | Tino Teitei | Tino Iti | Tino Teitei | Nga laser tere tere, LIDT tino |
Ko te Paepae Tukino Whakararu-Taahoa te teitei o te rere o te whatu, te kaha ranei ka taea e te paninga te tu i mua i te paheketanga o te tinana. Me whakamanahia tenei inenga i raro i nga paerewa ISO 21254 hei whakarite i te pono. He rereke nga tikanga o te kino i runga i te tikanga whakahaere a te laser.
I roto i nga tikanga Ngaru Tonu, te manawa-roa ranei, ko te kino ka ahu mai i te whakaurunga waiariki me nga taonga kawe waiariki o te rohe paninga-papa. Ko te whakaemi wera ka arai ki te rewa, ki te pakaru ranei i te ahotea. I roto i nga tikanga poto-poto, ko te kino te nuinga o te pakaru o te hiko o te rohe. Mo nga pupuhi ultrafast, ka whakahaerehia te kino e nga tikanga katote-kore-rarangi, penei i te multiphoton me te avalanche ionization, ka puta motuhake mai i nga koha o te hanga puāwaitanga.
Ko te arotake i nga kaha o te kaihoko me tirotirohia to raatau kaha ki te whakaputa i te tino tika o te roangaru. Ka ahu mai i te arotautanga roangaru kotahi tae atu ki nga whakaritenga mahi maataki-a-whaanui-a-whaanui ranei. Ko te koki o te Paanga me te tairongo polarization nga take nui. I te pikinga o te AOI, ka huri noa nga roopu whakaata me nga roopu whakaata ki te pito kikorangi o te hihinga. I tua atu, ko nga whakaaturanga mahi mo te p-polarization me te s-polarization ka tino rerekee i nga AOI teitei, e hiahia ana ki nga hoahoa paparanga matatini ki te pupuri i nga waahanga mata e hiahiatia ana.
Ko nga punaha laser Ultrafast he wero motuhake mo te marara. Ko nga paninga paerewa he marara noa e whakakorikori ana i nga pupuhi taiaho femtosecond, e totoro ana i roto i te rohe o te waa me te tino whakaheke i o raatau mana teitei. Hei whawhai i tenei, Ko nga whatu laser i hangaia mo nga tono ultrafast e whakamahi ana i nga whakaata me nga whakaata kua utua e te GDD. Ko te arotake i tetahi kaihoko ko te aromatawai i to raatau kaha ki te hoahoa me te hanga paninga me te matotoru o te paparanga rereke. Ko enei hanganga e whakarato ana i te marara kino motuhake ki te kopiri i te pupuhi, ki te pupuri ranei i nga wa poto o te pupuhi puta noa i te ara whatu.
Kare e taea e nga spectrophotometers paerewa te ine tika te whakaata i runga ake i te 99.9%. Ka tonohia te Kohanga Ringa-Ki raro ki te manatoko i te tino huritao me te ine i te mate whatu katoa, kei roto ko te whakaurunga me te marara, i roto i nga whakaata teitei. Ko te tikanga ko te wero i te putere taiaho ki roto i te kohao whatu tino pai i hangaia e nga optics whakamatautau. Ka ine te punaha i te tere pirau o te rama e mau ana i roto i te kohao, e whakarato ana i te inenga tino tika mo te ngaronga katoa o te kohao.
Ka whakamahia te Photothermal Common-Path Interferometry mo te ine tika i te whakaurunga tino-iti ki raro ki nga taumata iti-ppm i roto i nga taputapu me nga paninga. Ka whakamahia e te miihini te whirihoranga taiaho papu-tirotiro. Ma te taiaho papu mana teitei ka whakamahana i te tauira, ka puta he paku rerekeetanga o te taupae whakaata. He kurupae rapunga ngoikore ka haere i roto i tenei rohe wera, ka kitea nga huringa o te wahanga ka puta, ka taea te tatau tika o te whakarea whakauru.
Kei te noho tonu te Spectrophotometry hei paerewa mo te whakau i nga korero mo te matakite, te ine i te tuku me te whakaata huri noa i nga roopu roangaru whanui. Ka whakamahia te Ellipsometry ki te whakatau i te matotoru o te paparanga me nga whakaaturanga taupū whakaraerae uaua o nga kiriata kua penapena, kia rite ai te hanga tinana ki te hoahoa aria.
| Metrology Technique | Ine Tuatahi | Tawhā Tairongo | Tepe Whakamahi Angamaheni |
|---|---|---|---|
| Spectrophotometry | Whakawhiti / Whakaata | ~0.1% | Manatoko AR/HR Paerewa |
| Ellipsometry | Te Matotoru Papa / Taurangi Whakaata | iti-nanometer | Mana whakahaere, whakamana hoahoa |
| CRDS | Ngaronga Matapihi Katoa (Marara + Te horonga) | <1 ppm | Supermirrors, kōhao teitei-finesse |
| PCI | Te horomitanga tika | Sub-ppm | Te mana teitei CW laser optics |
Ko nga kiriata mātotoru, tino mātotoru, ina koa ko nga mea ka tukuna ma te IBS, ka nui te ahotea o te tinana. Ka taea e tenei ahotea kōpeke, te ahotea ranei te takahuri i te tïpako o raro, te whakakorikori i nga muangaru tuku me te whakaata, me te whakararu i nga whakaritenga papatahi o te tihi-ki-warua. Hei whakaiti i tenei raru, me tohu e nga miihini nga whakakikoruatanga utu-taha ki muri e pa ana ki te taumahatanga rite me te whakaahuru ki te tïpako. I tua atu, he mea nui te arotake i te kaha metrology a te kaihoko mo te ine me te whakatika i te papatahi o te mata i muri i te tukunga.
Ko nga paninga poroporo ka mimiti i te makuku mai i te haumuku taiao. I raro i nga ahuatanga korehau, i te wa ranei o te paheketanga o te pāmahana, ka whakahekehia e tenei wai, ka huri i te taurangi whakaata whai hua o nga paparanga me te huri i te roangaru hoahoa mai i te roopu laser mahi. Ko te rautaki whakamaarama tuatahi ko te tohu i nga hangarau whakangao puhoi, kore-porous penei i te IBS, Magnetron Sputtering ranei. Hei taapiri, me whakahau nga roopu hoko mai i nga whakamatautau paihikara wera me te haumākū e rite ana ki nga paerewa ISO 9211-3, MIL-C-48497A ranei.
Ka taea e nga toenga pararopi moroiti, te puehu, te puhui whakangao karekau ranei ki runga i nga mata whatu. I raro i te whakamarama taiaho kaha, ka mahi enei mea poke hei pokapu whakauru nui, e arahi ana ki te whakamahana o te rohe me te korenga o te waiariki kino. Ko te whakahekenga me whakakaha i nga kawa o te whakakakahu i nga ruma horoi.
A: Ko te whakaetonga E-beam e whakamahi ana i te hiko waiariki ki te whakangote i nga rawa, ka puta mai he paninga maiengi, he iti ake te roa o te whakaraerae i nga huringa taiao. Ka whakamahia e te Ion Beam Sputtering nga katote-kaha nui ki te penapena rawa, te hanga i nga whakakikorua tino kikokore, kore koha, me te whakapumau i te taiao e hiahiatia ana mo nga taiaho hiko teitei me te tere tere.
A: Ko te paheketanga i raro iho i te Paepae Tukino Taiaho kua tohua e te nuinga o te wa na te poke o te taiao, te urunga o te makuku i roto i nga paninga maiengi, i te taumahatanga pahikara waiariki ranei. Ko te puehu moroiti, ko te whakangau haunga pararopi ranei ka hanga i nga pokapu whakaurunga o te rohe ka mutu ka kore te waiariki.
A: Ko nga spectrophotometers paerewa he kore te tairongo mo te tino whakaataata. Ka whakamahia kētia te Kohanga Ringa-Ki raro. Ka ine i te wa pirau o te putere marama e mau ana i waenga i nga whakaata i roto i te kohao whatu kati kia tika ai te tatau i nga ngaronga ki nga wahanga mo ia miriona.
A: Roopu Roopu Marara e pa ana ki te ahuatanga o nga roangaru rereke o te marama e haere ana i roto i te paninga he rereke nga tere. I roto i nga lasers ultrafast, ka horahia e tenei te pupuhi poto i roto i te waa, ka tino whakaiti i tona kaha teitei. Ko nga whakaata whakatangitangi motuhake hei utu mo tenei paanga.
A: Ko nga paninga te tikanga ka paheke, kaua ki te whakatika i te mea na te taumahatanga o roto, te ahotea ranei. Heoi, ma te whakamahi i te paninga utu whakamuri ka taea te whakataurite i te ahotea miihini i runga i te tïpako, ka whakahoki mai i te papatahi o te mata e hiahiatia ana.
A: I te piki haere o te koki o te pa, ka huri te tuku matakite me nga here whakaata ki nga roangaru poto ake. I tua atu, ka rereke te whakautu a te paninga ki te rama s-polarized me te p-polarized, e hiahia ana ki nga hoahoa motuhake hei pupuri i nga mahi i nga koki teitei.