ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸው የሌዘር ስርዓቶች ሙሉ በሙሉ በብርሃን ትክክለኛ አጠቃቀም ላይ ይመረኮዛሉ. በኦፕቲክ substrate እና በአከባቢው መካከል ያለው የድንበር ንጣፍ በእነዚህ ስርዓቶች ውስጥ በጣም የተለመደውን ውድቀትን ይወክላል። በቂ ያልሆነን በመጥቀስ የኦፕቲካል ሽፋን ወደ አስከፊ የሌዘር መበላሸት ፣ ከፍተኛ የኃይል መቀነስ ፣ የሙቀት ሌንሶች ወይም የጨረር ጥራትን መጣስ ያስከትላል። እነዚህ ውድቀቶች በጣም ውድ የሆነ የስርዓተ-ፆታ ጊዜን እና የአካል ክፍሎችን መተካት ያስከትላሉ.
የቀጭን ፊልም አቀማመጥ እና ጣልቃገብነት አካላዊ መካኒኮችን መረዳት አስፈላጊ ነው። የስርዓቱን ረጅም ዕድሜ ለማረጋገጥ መሐንዲሶች እና የግዥ ቡድኖች የአቅራቢዎችን አቅም በትክክል መገምገም አለባቸው። የሽፋን ቴክኖሎጂዎችን ከተወሰኑ የሌዘር ጣራዎች ጋር ማዛመድ እና የረጅም ጊዜ የአሠራር ስጋቶችን መቀነስ ያስፈልግዎታል። ከገሃዱ ዓለም የሌዘር አከባቢዎች የሚተርፉ ኦፕቲክስን ለመለየት የሚያስፈልጉትን ፊዚክስ፣ የማስቀመጫ ዘዴዎች እና የስነ-ልክ መጠን እንሰብራለን።
በዋናው ላይ ፣ ብርሃን በተሸፈነው ኦፕቲክስ በኩል የሚደረግ አያያዝ በቀጭን የፊልም ጣልቃገብነት ላይ የተመሠረተ ነው። ተለዋጭ የከፍተኛ እና ዝቅተኛ የማጣቀሻ ቁሶችን በማስቀመጥ መሐንዲሶች የተወሰኑ የድንበር ሁኔታዎችን ይፈጥራሉ። የተለመዱ ቁሳቁሶች ታንታለም ፔንቶክሳይድ, ሃፍኒየም ኦክሳይድ እና ሲሊኮን ዳይኦክሳይድ ያካትታሉ. የብርሃን ሞገዶች እነዚህን ድንበሮች ሲመታ, ያንፀባርቃሉ እና ያስተላልፋሉ. እንደ የንብርብር ውፍረት እና የማጣቀሻ ኢንዴክሶች እነዚህ ሞገዶች ነጸብራቅን ለመጨመር ገንቢ በሆነ መልኩ ይጣመራሉ ወይም ስርጭትን ከፍ ለማድረግ አጥፊ ናቸው።
የእነዚህ የጨረር ባህሪያት ትክክለኛ ቁጥጥር የሚወሰነው በደረጃ ፈረቃ እና በጨረር ውፍረት ላይ ነው. ንብርብሮች በተለምዶ በሩብ-ማዕበል የጨረር ውፍረት (QWOT) ወይም በግማሽ ሞገድ የእይታ ውፍረት (HWOT) ዙሪያ የተነደፉ ናቸው። የንብርብሩ የጨረር ውፍረት ከዒላማው የሞገድ ርዝመት አንድ አራተኛውን ሲያክል፣ ከላይ እና ከታች ድንበሮች ላይ ያሉት የተንፀባረቁ ሞገዶች ፍፁም ከደረጃ ውጭ ናቸው። ይህ ለጸረ-ነጸብራቅ ይሰርዛቸዋል። በተቃራኒው፣ ለከፍተኛ ነጸብራቅ ሲደረደሩ ፍፁም በደረጃ ሊሆኑ ይችላሉ። የዚህ ንብርብር ውፍረት የሂሳብ ትክክለኛነት በጠቅላላው ስርዓት ላይ የታለመውን የሞገድ ርዝመት አፈፃፀም ያሳያል።
Substrate-coating በይነገጽ ተለዋዋጭ እኩል ወሳኝ ሚና ይጫወታል. የንጥረ ነገሮች ምርጫ የኦፕቲክ ሜካኒካል እና የሙቀት መሰረትን ይወስናል. ዋናው ምክንያት የሙቀት ማስፋፊያ Coefficient (CTE) በተቀማጭ እና በተከማቹ ንብርብሮች መካከል አለመመጣጠን ነው። ጉልህ የሆኑ የሲቲኢ አለመዛመዶች ወደ ከባድ የሜካኒካዊ ጭንቀት ይመራሉ፣ ይህም ሽፋኑ በሙቀት ሸክሞች ውስጥ እንዲጣበጥ፣ እንዲቦርቅ ወይም እንዲዋጋ ያደርገዋል።
በተጨማሪም የኤሌክትሮኒካዊ ማሰሪያ የዲኤሌክትሪክ ሽፋን እቃዎች አፈጻጸማቸውን ይገድባል፣ በተለይም እንደ አልትራቫዮሌት ወይም ጥልቅ አልትራቫዮሌት ባሉ አጭር የሞገድ ርዝመቶች። ዝቅተኛ የባንድጋፕ ሃይሎች ያላቸው ቁሳቁሶች ከፍተኛ ሃይል ያላቸውን ፎቶኖች በመምጠጥ ወደ አካባቢያዊ ማሞቂያ ይመራሉ. የሙቀት መበላሸት እና የኦፕቲክን አስከፊ ውድቀት ለመከላከል ለከፍተኛ ኃይል አፕሊኬሽኖች ይህንን መምጠጥ መቀነስ አስፈላጊ ነው።
| የዲኤሌክትሪክ ቁስ | አንጸባራቂ መረጃ ጠቋሚ (በ1064nm ገደማ) | ባንድጋፕ ኢነርጂ (ኢቪ) | የመጀመሪያ ደረጃ የመተግበሪያ መስክ |
|---|---|---|---|
| ሲሊኮን ዳይኦክሳይድ | 1.45 (ዝቅተኛ) | 9.0 | ብሮድባንድ ኤአር፣ ከፍተኛ ኃይል ያለው የሰው ኃይል ቁልል |
| ሃፍኒየም ኦክሳይድ | 1.90 (ከፍተኛ) | 5.8 | ከፍተኛ-LIDT መስተዋቶች፣ UV መተግበሪያዎች |
| ታንታለም ፔንቶክሳይድ | 2.05 (ከፍተኛ) | 4.2 | ቴሌኮም፣ CW ሌዘር መስተዋቶች |
| ማግኒዥየም ፍሎራይድ | 1.38 (ዝቅተኛ) | 10.8 | ጥልቅ የአልትራቫዮሌት ኦፕቲክስ፣ ነጠላ-ንብርብር AR |
ዋናው ተግባር የ የ AR ሽፋን የገጽታ ነጸብራቆችን ለማስወገድ እና የብርሃን ስርጭትን በንጥረ ነገሮች ውስጥ ከፍ ለማድረግ ነው። ይህ የሚገኘው በአጥፊ ጣልቃገብነት በመጠቀም ነው, ከአየር-መከላከያ በይነገጽ የሚንጸባረቀው ብርሃን ከሽፋን-ንጥረ-ነገር በይነገጽ ላይ የሚንፀባረቀውን ብርሃን ይሰርዛል.
የንድፍ ምሳሌዎች በመተግበሪያ መስፈርቶች ላይ ተመስርተው ይለያያሉ. ነጠላ-ንብርብር ሽፋን ነጸብራቅ ውስጥ መሠረታዊ ቅነሳ ይሰጣሉ. V-coatings በአንድ የተወሰነ የሞገድ ርዝመት ውስጥ ከፍተኛውን ማፈንን በማቅረብ ለጠባብ ባንድ አፕሊኬሽኖች የተሰሩ ናቸው። W-coatings ብሮድባንድ አፈጻጸም ያቀርባል, ሰፊ spectral ክልል ላይ ዝቅተኛ አንጸባራቂ ጠብቆ. የእነዚህ ሽፋኖች የስኬት መመዘኛዎች በዲዛይኑ የሞገድ ርዝመት ከ 0.1% ያነሰ አንፀባራቂ ማሳካት እና የተረፈውን የገጽታ መሳብ በሚሊዮን ከ10 በታች ማድረግን ያጠቃልላል።
ከፍተኛ አንጸባራቂ ዳይኤሌክትሪክ መስተዋቶች በደርዘን የሚቆጠሩ ተለዋጭ ዳይኤሌክትሪክ ንብርብሮች ላይ ገንቢ ጣልቃገብነት በመጠቀም ወደ ፍፁም ቅርብ ነጸብራቅ ይጠቀማሉ። ተለዋጭ ከፍተኛ እና ዝቅተኛ መረጃ ጠቋሚ ቁሳቁሶችን በመደርደር ከእያንዳንዱ በይነገጽ የተንጸባረቀው ሞገዶች ገንቢ በሆነ መልኩ ይጣመራሉ። እነዚህ መዋቅሮች በተለምዶ ብራግ አንጸባራቂ ተብለው ይጠራሉ.
በከፍተኛ ኃይል ስርዓቶች ውስጥ ለ HR መስተዋቶች ዋናው የንድፍ ስልት የኤሌክትሪክ መስክ ማመቻቸት ነው. መሐንዲሶች የንብርብሩን ቁልል በመንደፍ ከፍተኛውን የኤሌትሪክ መስክ ጥንካሬን ከንብርብሮች መገናኛዎች እና ከከፍተኛ መረጃ ጠቋሚ ቁሶች ርቀው እንዲቀመጡ ያደርጋሉ። ከፍተኛ-ኢንዴክስ ቁሳቁሶች በተለምዶ ለሌዘር ጉዳት በጣም የተጋለጡ ናቸው. የስኬት መመዘኛዎች ከ99.9% በላይ ወደ 99.999% በላይ አንፀባራቂነት ደረጃ መድረስ፣ በማንፀባረቅ ላይ የደረጃ መረጋጋትን መጠበቅ እና በነጸብራቅ ባንድዊድዝ እና በከፍተኛ አንፀባራቂ መካከል ያለውን የንግድ ልውውጥ በጥንቃቄ መቆጣጠርን ያካትታሉ።
እነዚህ ልዩ ሽፋኖች ሌሎችን በሚያንፀባርቁበት ጊዜ የተወሰኑ የሞገድ ርዝመቶችን ወይም የፖላራይዜሽን ግዛቶችን ለማስተላለፍ የተነደፉ ናቸው. ለምሳሌ፣ ቀጭን ፊልም ፖላራይዘርስ s-polarized እና p-polarized lightን በከፍተኛ ብቃት በመለየት በብሬውስተር አንግል ላይ ለመስራት የተነደፉ ናቸው።
የእነዚህ ውስብስብ ቁልል የስኬት መመዘኛዎች በማስተላለፊያ እና በማንፀባረቅ ባንዶች መካከል ሹል የሽግግር ቁልቁል ያካትታል፣ ይህም አነስተኛ የሲግናል መደራረብን ያረጋግጣል። የጨረር ንፅህናን ለመጠበቅ ከፍተኛ የፖላራይዜሽን መጥፋት ሬሾዎች አስፈላጊ ናቸው። በተጨማሪም፣ እነዚህ ሽፋኖች በስርዓተ-ምህዳሩ ወቅት በአደጋ አንግል ላይ ትንሽ ልዩነት ቢኖራቸውም የተገለጸውን አፈጻጸማቸውን መጠበቅ አለባቸው።
የኤሌክትሮን ቢም ትነት በኤሌክትሮን ጨረሮች በመጠቀም ከፍተኛ ክፍተት ባለው ክፍል ውስጥ የምንጭ ቁሳቁሶችን የሙቀት መጠን መጨመርን ያካትታል። በእንፋሎት የተደረገው ቁሳቁስ ከምንጩ በላይ በተቀመጡት ንጣፎች ላይ ይጨመቃል። ከፍተኛ ወጪ ቆጣቢ እና ከተለያዩ ቁሳቁሶች ጋር ተኳሃኝ ቢሆንም፣ ይህ ሂደት በምንጭ መትፋት ለተፈጠሩት nodule ጉድለቶች የተጋለጠ ነው። እነዚህ nodules ለአካባቢያዊ ሌዘር ጉዳት እንደ ዋና ዘሮች ሆነው ያገለግላሉ።
ኢ-ቢም በአንጻራዊ ሁኔታ የተቦረቦረ ፣ አምድ ፊልሞችን ያመርታል። እነዚህ የተቦረቦሩ አወቃቀሮች ከአካባቢው እርጥበት ለመምጠጥ የተጋለጡ ናቸው, ይህም የማጣቀሻ ኢንዴክስ ሲቀየር ወደ ስፔክትራል ሽግግር ያመራል. ከዝቅተኛ ወደ መካከለኛ ሃይል፣ ከፍተኛ የአካባቢ መረጋጋት ቀዳሚ ትኩረት በማይሰጥባቸው ወጪ ቆጣቢ መተግበሪያዎች በጣም ተስማሚ ሆኖ ይቆያል።
በአዮን የታገዘ ክምችት መደበኛውን የኢ-ቢም ትነት ሂደት በሃይል ion ጨረር በተለይም በአርጎን ወይም በኦክስጅን ያሟላል። የተነኑ ሞለኪውሎች በንዑስ ፕላስቲቱ ላይ ሲጨመቁ፣ ion beam እያደገ ያለውን ፊልም በቦምብ ይገድባል፣ ንብርቦቹን ያጠባል። ይህ ከመደበኛ ኢ-ቢም ትነት ጋር ሲነፃፀር ከፍ ያለ የማሸጊያ እፍጋት እና የተሻለ የአካባቢ መረጋጋትን ያመጣል። IAD ጠንካራ መሃከለኛ ቦታን ያቀርባል፣ የተሻሻለ ጥንካሬን በአነስተኛ ወጪ እና ፈጣን ዑደት ጊዜን ከላቁ የስፕትቲንግ ሂደቶች ያቀርባል።
ማግኔትሮን በፕላዝማ የሚመራ ሂደት ሲሆን የታለሙ ቁሳቁሶች በጠንካራ መግነጢሳዊ መስኮች በሃይል ionዎች የሚደበደቡበት ነው። ይህ አተሞችን ከዒላማው ያስወጣል, ከዚያም ወደ መሬቱ ውስጥ ያስቀምጣል. የተገኙት ፊልሞች በጣም ተመሳሳይነት ያላቸው, ጥቅጥቅ ያሉ እና ቅርጽ ያላቸው ናቸው.
ይህ ቴክኖሎጂ ከፍተኛ የማስቀመጫ ዋጋዎችን እና በትላልቅ የከርሰ ምድር አካባቢዎች ላይ ልዩ ተደጋጋሚነት ይሰጣል። ፊልሞቹ ጥቅጥቅ ያሉ እና ያልተቦረቦሩ በመሆናቸው ወደ ዜሮ የሚጠጉ የእርጥበት ለውጥ እና ከፍተኛ የሜካኒካል ጥንካሬን ያሳያሉ። ይህ በተለዋዋጭ አካባቢዎች ውስጥ ለሚሰሩ ከፍተኛ ኃይል ላላቸው የኢንዱስትሪ ሌዘር ሥርዓቶች በጣም ተስማሚ ያደርጋቸዋል።
Ion Beam Sputtering ከፍተኛውን ይወክላል ቀጭን ፊልም ሽፋን ቴክኖሎጂ. ከፍተኛ ሃይል ያለው ion ጨረሮች ኢላማውን የጠበቀ ቁሳቁስ ያወርዳሉ፣ አተሞች እጅግ በጣም ከፍተኛ የእንቅስቃሴ ሃይል ባላቸው በሚሽከረከር ንኡስ መሬት ላይ ይረጫሉ። ይህ ሂደት ለየት ያለ ጥቅጥቅ ያሉ፣ ለስላሳ እና ምንም እንከን የለሽ የአሞርፊክ ሽፋን ይፈጥራል።
የአይቢኤስ ሽፋኖች ወደ ዜሮ የሚቃረኑ መበታተን እና የመምጠጥ ደረጃዎችን ከ1 ፒፒኤም በታች ያሳያሉ። ይህ ቴክኖሎጂ ለአልትራፋስት ሌዘር፣ ከፍተኛ ጥራት ላላቸው የጨረር መቦርቦር እና እጅግ በጣም ከፍተኛ የሆነ በሌዘር የሚፈጠር ጉዳት ገደቦችን ለሚጠይቁ መተግበሪያዎች ግዴታ ነው። ዋናዎቹ የዋጋ ግኝቶች የፕሪሚየም ወጪ እና በጣም ረዘም ያለ የማስቀመጫ ዑደት ጊዜዎች ናቸው።
| የማስቀመጫ ቴክኖሎጂ | የፊልም ጥግግት | ጉድለት ደረጃ | የአካባቢ መረጋጋት | ቀዳሚ መተግበሪያ |
|---|---|---|---|---|
| ኢ-ቢም ትነት | ዝቅተኛ (የቦረቦረ) | ከመካከለኛ እስከ ከፍተኛ | ዝቅተኛ (Spectral Shift) | ዝቅተኛ ኃይል ኦፕቲክስ |
| በአዮን የታገዘ ተቀማጭ ገንዘብ | መካከለኛ | መጠነኛ | መካከለኛ | አጠቃላይ ዓላማ ሌዘር |
| ማግኔትሮን ስፕቲንግ | ከፍተኛ | ዝቅተኛ | ከፍተኛ | የኢንዱስትሪ ሌዘር |
| Ion Beam Sputtering | በጣም ከፍተኛ | እጅግ በጣም ዝቅተኛ | በጣም ከፍተኛ | አልትራፋስት ሌዘር፣ ጽንፍ LIDT |
በሌዘር-የተቀሰቀሰ ጉዳት ገደብ ሽፋኑ አካላዊ መበላሸት ከመከሰቱ በፊት ሊቋቋመው የሚችለው ከፍተኛው የኦፕቲካል ቅልጥፍና ወይም ጥንካሬ ነው። አስተማማኝነትን ለማረጋገጥ ይህ መለኪያ በጥብቅ ISO 21254 ደረጃዎች መረጋገጥ አለበት። የጉዳት ዘዴዎች እንደ ሌዘር አሠራር ሁኔታ በጣም ይለያያሉ.
በተከታታይ ሞገድ ወይም የረጅም ጊዜ ምት አገዛዞች ጉዳቱ በዋነኝነት የሚመነጨው በሙቀት መሳብ እና በሙቀት-ማስተካከያ ወሰን የሙቀት ማጓጓዣ ባህሪያት ነው። የሙቀት መከማቸት ወደ ማቅለጥ ወይም የሙቀት ጭንቀት ስብራት ይመራል. በአጭር የልብ ምት አገዛዞች፣ ጉዳቱ በጉድለት በሚመራ አካባቢያዊ የኤሌክትሮኒክስ ብልሽት ይገዛል። ለ ultrafast pulses ጉዳት የሚመራው ከጥንታዊ የማምረቻ ጉድለቶች ተለይተው በሚታዩ እንደ መልቲፎቶን እና አቫላንሽ ionization ባሉ ቀጥተኛ ባልሆኑ ionization ስልቶች ነው።
የአቅራቢዎችን አቅም መገምገም ትክክለኛ የሞገድ ርዝመት ልዩነት ለማቅረብ ያላቸውን ችሎታ መመርመርን ይጠይቃል። ይህ ከአንድ የሞገድ ርዝመት ማመቻቸት እስከ ውስብስብ ባለሁለት ባንድ ወይም ሰፊ የተስተካከለ የእይታ አፈጻጸም መስፈርቶች ይደርሳል። የክስተቶች አንግል እና የፖላራይዜሽን ስሜታዊነት ዋና ዋና ምክንያቶች ናቸው። AOI እየጨመረ ሲሄድ የእይታ ማስተላለፊያ እና ነጸብራቅ ባንዶች በተፈጥሯቸው ወደ ሰማያዊው የህብረ-ክፍል ጫፍ ይሸጋገራሉ። በተጨማሪም የፒ-ፖላራይዜሽን እና የኤስ-ፖላራይዜሽን የአፈጻጸም መገለጫዎች በከፍተኛ AOIs ላይ በከፍተኛ ሁኔታ ይለያያሉ፣ የተፈለገውን የኦፕቲካል ንብረቶችን ለመጠበቅ ውስብስብ የንብርብር ንድፎችን ይፈልጋሉ።
አልትራፋስት ሌዘር ሲስተሞች መበተንን በተመለከተ ልዩ ፈተና ያጋጥማቸዋል። መደበኛ ሽፋኖች femtosecond laser pulsesን የሚያዛባ፣ በጊዜው የሚረዝሙ እና ከፍተኛ ኃይላቸውን በከፍተኛ ሁኔታ የሚቀንስ ውስጣዊ ስርጭት አላቸው። ይህንን ለመዋጋት ፣ ሌዘር ኦፕቲክስ ቺርፕድ እና ጂዲዲ ማካካሻ መስተዋቶችን ይጠቀማሉ። ለአልትራፋስት አፕሊኬሽኖች የተነደፉ ሻጭን መገምገም በትክክል በተለዋዋጭ የንብርብር ውፍረት ሽፋን የመንደፍ እና የማምረት ችሎታቸውን መገምገምን ያካትታል። እነዚህ አወቃቀሮች የልብ ምትን ለመጭመቅ ወይም በኦፕቲካል መንገዱ ውስጥ አጭር የ pulse ቆይታዎችን ለመጠበቅ ልዩ አሉታዊ ስርጭትን ይሰጣሉ።
መደበኛ ስፔክትሮፖቶሜትሮች አንጸባራቂነትን ከ99.9% በላይ በትክክል መለካት አይችሉም። Cavity Ring-Down Spectroscopy ከፍተኛ አንጸባራቂነትን ለማረጋገጥ እና አጠቃላይ የእይታ ኪሳራን ለመለካት ይተገበራል፣ ይህም ሁለቱንም መሳብ እና መበታተንን በከፍተኛ ጥራት ባላቸው መስተዋቶች ውስጥ። ዘዴው የሌዘር ምትን በሙከራ ኦፕቲክስ በተሰራው ከፍተኛ ጥራት ያለው የኦፕቲካል ክፍተት ውስጥ ማስገባትን ያካትታል። ስርዓቱ በጨጓራ ውስጥ የታሰረውን የብርሃን የመበስበስ መጠን ይለካል፣ ይህም አጠቃላይ የጉድጓድ መጥፋት ትክክለኛ ልኬትን ይሰጣል።
Photothermal Common-Path Interferometry በሁለቱም ንኡስ ስቴቶች እና ሽፋኖች ውስጥ እስከ ንኡስ ፒፒኤም ደረጃዎች ድረስ ያለውን እጅግ በጣም ዝቅተኛ መምጠጥን በቀጥታ ለመለካት ይጠቅማል። ዘዴው የፓምፕ-ፕሮብ ሌዘር ውቅርን ይጠቀማል. ከፍተኛ ኃይል ያለው የፓምፕ ሌዘር በአካባቢው ናሙናውን ያሞቀዋል, ይህም በማጣቀሻ ኢንዴክስ ላይ ትንሽ ለውጥ ያመጣል. ደካማ የመመርመሪያ ጨረር በዚህ ሞቃት ክልል ውስጥ ያልፋል፣ እና የውጤቱ የደረጃ ፈረቃዎች ተገኝተዋል፣ ይህም የመምጠጥ መጠንን በትክክል ለማስላት ያስችላል።
Spectrophotometry የእይታ መገለጫዎችን ለማረጋገጥ፣ በሰፊ የሞገድ ርዝመት ባንዶች ላይ ስርጭትን እና ነጸብራቅን ለመለካት መስፈርት ሆኖ ይቆያል። ኤሊፕሶሜትሪ ትክክለኛውን የንብርብር ውፍረት እና የተከማቹ ፊልሞች ውስብስብ የማጣቀሻ መረጃ ጠቋሚዎችን ለመወሰን ጥቅም ላይ ይውላል, ይህም አካላዊ አወቃቀሩ ከቲዎሪቲካል ዲዛይን ጋር የሚጣጣም መሆኑን ያረጋግጣል.
| የሜትሮሎጂ ቴክኒክ | አንደኛ ደረጃ መለኪያ መለኪያ | የትብነት ገደብ | የተለመደ የአጠቃቀም ጉዳይ |
|---|---|---|---|
| Spectrophotometry | ማስተላለፊያ / ነጸብራቅ | ~ 0.1% | መደበኛ የ AR/HR ማረጋገጫ |
| ኤሊፕሶሜትሪ | የንብርብር ውፍረት / አንጸባራቂ መረጃ ጠቋሚ | ንዑስ-ናኖሜትር | የሂደት ቁጥጥር, የንድፍ ማረጋገጫ |
| CRDS | አጠቃላይ የጨረር ኪሳራ (መበተን + መምጠጥ) | < 1 ፒፒኤም | ሱፐርሚርሮች፣ ከፍተኛ ጥራት ያላቸው ጉድጓዶች |
| PCI | ቀጥተኛ መምጠጥ | ንዑስ-ppm | ከፍተኛ-ኃይል CW ሌዘር ኦፕቲክስ |
ወፍራም፣ በጣም ጥቅጥቅ ያሉ ፊልሞች፣ በተለይም በ IBS በኩል የተቀመጡ፣ ከፍተኛ የአካል ጭንቀት ይፈጥራሉ። ይህ የተጨመቀ ወይም የተሸከመ ውጥረት የስር ስር ያለውን ንኡስ ክፍልን ያሞግታል፣ የሚተላለፉ እና የተንፀባረቁ የሞገድ ግምቶችን በማዛባት እና ከጫፍ እስከ ሸለቆ ያለው ጠፍጣፋነት ዝርዝሮችን ይጎዳል። ይህንን አደጋ ለመቅረፍ መሐንዲሶች ለክፍለ-ነገር እኩል እና ተቃራኒ ውጥረትን የሚተገበሩ የኋላ-ጎን ማካካሻ ሽፋኖችን መግለጽ አለባቸው። በተጨማሪም ፣ ከተቀማጭ በኋላ የወለል ንጣፍን ለመለካት እና ለማስተካከል የአቅራቢውን የስነ-ልኬት ችሎታዎች መገምገም አስፈላጊ ነው።
የተቦረቦረ ሽፋኖች ከአካባቢው እርጥበት እርጥበትን ይይዛሉ. ቫክዩም ሁኔታዎች ወይም የሙቀት መዋዠቅ ወቅት, ይህ ውኃ desorbs, የንብርብሮች መካከል ውጤታማ refractive ኢንዴክስ በመቀየር እና የክወና የሌዘር ባንድ ውጭ ንድፍ የሞገድ መቀየር. ዋናው የማስታገሻ ስልት እንደ IBS ወይም Magnetron Sputtering ያሉ ጥቅጥቅ ያሉ፣ ቀዳዳ የሌላቸው የማስቀመጫ ቴክኖሎጂዎችን መለየት ነው። በተጨማሪም የግዥ ቡድኖች የሙቀት እና እርጥበት የብስክሌት ሙከራዎችን ISO 9211-3 ወይም MIL-C-48497A ደረጃዎችን ያከብራሉ።
በአጉሊ መነጽር ብቻ የሚታዩ ኦርጋኒክ ቅሪቶች፣ አቧራ ወይም ተለዋዋጭ የጋዝ መውጫ ውህዶች በኦፕቲካል ንጣፎች ላይ ሊቀመጡ ይችላሉ። በከባድ የሌዘር ማብራት ስር እነዚህ ብክለቶች እንደ ከፍተኛ የመምጠጥ ማዕከሎች ሆነው ያገለግላሉ ፣ ይህም ወደ ፈጣን አካባቢያዊ ማሞቂያ እና አስከፊ የሙቀት ውድቀት ያስከትላል። ማቃለል ጥብቅ የንፁህ ክፍል ማሸጊያ ፕሮቶኮሎችን መተግበርን ይጠይቃል።
መ፡ ኢ-ቢም ትነት ቁሳቁሶችን ለማትነን የሙቀት ሃይልን ይጠቀማል፣ በዚህም ምክንያት ለአካባቢያዊ ለውጦች ተጋላጭ የሆኑ ባለ ቀዳዳ እና ብዙ ጊዜ የማይቆዩ ሽፋኖች። Ion Beam Sputtering ቁሳቁሶችን ለማስቀመጥ ከፍተኛ ኃይል ያለው ionዎችን ይጠቀማል፣ ይህም እጅግ በጣም ጥቅጥቅ ያሉ፣ እንከን የለሽ እና ለከፍተኛ ሃይል እና ለአልትራፋስት ሌዘር የሚፈለጉትን በአካባቢ ላይ የተረጋጋ ሽፋን ይፈጥራል።
መ: ከተጠቀሰው በሌዘር-የሚፈጠር የጉዳት ገደብ በታች ያለው መራቆት ብዙውን ጊዜ የሚከሰተው በአካባቢ ብክለት፣ በተቦረቦረ ሽፋን ውስጥ እርጥበት በመሳብ ወይም በሙቀት ብስክሌት ግፊት ነው። በአጉሊ መነጽር ብናኝ ወይም ኦርጋኒክ ውጣ ውሎ አድሮ የሙቀት ውድቀትን የሚያስከትሉ አካባቢያዊ የመምጠጥ ማዕከሎችን ይፈጥራል.
መ: መደበኛ ስፔክትሮፖቶሜትሮች ለከፍተኛ አንጸባራቂነት ትብነት ይጎድላቸዋል። በምትኩ Cavity Ring-down Spectroscopy ጥቅም ላይ ይውላል። በአንድ ሚሊዮን የሚደርሱ ጉዳቶችን በትክክል ለማስላት በተዘጋ የጨረር ክፍተት ውስጥ በመስታወቶች መካከል የታሰረ የብርሃን የልብ ምት የመበስበስ ጊዜን ይለካል።
መ፡ የቡድን መዘግየት መበታተን የተለያዩ የብርሃን የሞገድ ርዝመቶች በመጠኑ በተለያየ ፍጥነት የሚጓዙበትን ክስተት ያመለክታል። በ ultrafast lasers ውስጥ ይህ አጭር የልብ ምት በጊዜ ውስጥ ይዘረጋል, ይህም ከፍተኛውን ኃይል በእጅጉ ይቀንሳል. ልዩ የተንቆጠቆጡ መስተዋቶች ለዚህ ውጤት ማካካሻ ይሆናሉ.
መ: ሽፋኖች በአጠቃላይ በውስጣዊ መጨናነቅ ወይም በተጨናነቀ ውጥረት ምክንያት ከመጠገን ይልቅ ጦርነትን ያስከትላሉ። ነገር ግን በትክክለኛ ምህንድስና የኋላ ጎን የማካካሻ ሽፋን መቀባቱ በንጥረቱ ላይ ያለውን የሜካኒካል ጫና በማመጣጠን የኦፕቲኩን የሚፈለገውን የገጽታ ጠፍጣፋ ወደነበረበት ይመልሳል።
መ: የክስተቱ አንግል ሲጨምር፣ የእይታ ማስተላለፊያ እና ነጸብራቅ ባንዶች ወደ አጭር የሞገድ ርዝመቶች ይቀየራሉ። በተጨማሪም የሽፋኑ ምላሽ ለ s-ፖላራይዝድ እና ፒ-ፖላራይዝድ ብርሃን ይለያያል፣ አፈፃፀሙን በከፍተኛ ማዕዘኖች ለማስቀጠል ልዩ ንድፎችን ይፈልጋል።