Nga Whakamahinga Matua o ALD i roto i te Whakawhanaketanga Whakapaipai Matau Hangarau Rawa

I tenei wa kei te anga te whakangao whatu ki te waahi hurihuri nui. Ko nga taputapu hou e hiahia ana kia piki ake te uaua o te ahuahanga 3D. Ka kite maatau i tenei i roto i nga pane AR / VR, LiDAR motuka, me nga aerospace optics. Ko nga tikanga tuku iho o mua ka pa ki nga rohe kaha o te tinana. Kare e taea e tatou te whakawhirinaki anake ki nga tikanga tuku iho-a-rarangi. Karekau ratou e whakakakahu i nga arotahi tino kopikopiko, i nga kupenga wai hohonu ranei.

Whakauruhia te Deposition Layer Atomic (ALD). I tirohia e te umanga he taputapu R&D motuhake. Inaianei, ka tu hei otinga pakari, kua rite ki te whakaputa. Ka tukuna e ia te tino tika paninga whatu kohakore. Ka tuku i te tauritenga orite puta noa i nga topographies mata.

Ka noho tenei tuhinga hei aratohu arotake. I tuhia e matou mo nga miihini whakaata me nga kaiwhakahaere whare. Ka paunatia e matou nga whiwhinga mahi marama o ald mo nga paninga whatu ki nga awangawanga o mua. Ka ako koe me pehea nga punaha mokowā hou me te awhina plasma ki te whakaoti i nga pounamu tawhito. Ma tenei matauranga e whakarite te whakahiato, te kohakore te whakauru whatu.

Nga Taketake matua

• Te Mahinga Mahinga: Ka tukuna e te ALD nga koti-kore-kore, nga whakakikoruatanga whatu rite tonu i runga i nga topographies 3D matatini (hei tauira, nga pae kupenga, nga arotahi plano-convex) kei reira te PVD me te PECVD e mate ana i te kino o te kapi takahanga.

• Arotahi Whakaata Arotahi: Ko nga tikanga penei i te mitanano-laminating me te waipara nanoporous e taea ai te mahi tohu tohu whakaraerae tino (tae atu ki te 1.15) me te whakahaere ahotea miihini.

• Te Whakatairanga Whakangao: Ko nga Innovations i roto i te Plasma-Enhanced Spatial ALD (PE-sALD) me te tukatuka puranga-nui kua pai te whakawhiti i te aputa puta, tae atu ki nga reiti waipara e rite ana ki te PVD.

• Paearu Aromatawai: Ko te kowhiringa a te Kaihoko me aro ki nga tepe waiariki o te tïpako, nga waahanga owehenga e hiahiatia ana, me te Tapeke Utu o te Rangatiratanga (TCO) penei i te tukurua o mua.

Te Take Pakihi: He aha i Rahua ai te Whakatakotoranga Tuku iho i runga i te Matatini 3D Optik

E uaua ana nga punaha tuku iho ki te whakatutuki i nga hiahia whatu o muri mai. Ka kite maatau i tenei koretake i te wa e pania ana nga arotahi matatau. Ko te Kohu Kohu Tino (PVD) ka whakamahi i te pupuhi tinana, te whakaetonga ranei. He pai rawa atu i nga taputapu papatahi. E whakarato ana i nga reiti putunga tino tiketike. Heoi, ka whakawhirinaki katoa a PVD ki te ahupūngao-a-rangi. He rahua i te paninga owehenga teitei. Kaore e taea te whakarite kia rite te kapi i runga i nga mata tino kopikopiko. He maha nga wa ka kite koe i nga paanga whakamarumaru ki nga awaawa hohonu. Kaore e taea e te rauemi te tae pai ki nga kokonga o raro.

Ko te Plasma-Enhanced CVD (PECVD) he tere tere. Ko te plasma he tere nga tauhohenga matū puta noa i te tïpako. Heoi, karekau he mana matotoru taumata ngota. Ko tenei takahanga ka puta he take tauritenga nui ki nga ahuahanga matatini. Ka piri kore taurite nga ngota i nga kokonga kiki. Ka ngaro koe i nga whakawhiwhinga whatu e hiahiatia ana mo nga whakaahua hou.

Ko te ALD he painga motuhake. Ka whakamahia e ia nga huringa tauhohenga-a-whaiaro, e pa ana ki te chemisorption. Ka whakaurua e koe he hau tomua ki roto i te ruma. Ka tauhohe ki nga waahi mata e waatea ana. Ka mutu aunoa te tauhohenga ina kuhu katoa te mata. Na ka purea e koe te ruuma ki te hau koretake. I muri mai, ka whakauru koe i te reactant tuarua. He pai te mahi ki te paparanga tuatahi. Ka purea ano e koe te ruma.

He 1 Å o nga rawa kei ia huringa tika. Ka whakamanahia e tenei miihini pono 100 paiheneti te kaapu rite. Ka whakakorea katoatia nga kohao moroiti. Ka whiwhi koe i te matotoru kiriata tino rite puta noa i nga waahanga whatu tino uaua.

Nga Mahinga Pai: Mahia i nga wa katoa nga ahuatanga ōwehenga o to tïpako i mua i te kowhiri i te tikanga whakatakoto. Ko te mapi tika ka aukati i nga hapa o te awa.

Nga Hapa Ake: Ko te whakawhirinaki ki te PVD mo nga pae kupenga hohonu-a-whare ka puta he kino nga paanga-taha me te nui o nga hua.

Nga Whakataunga Uara Nui o te ALD i roto i nga Panui Matapihi

Ko nga taputapu whakatipuranga e whai ake nei e hiahia ana ki te whakatakoto paparanga motuhake. Ka whakamahia e nga miihini enei tikanga tika puta noa i nga waahanga nui. He mea nui nga paninga antireflective (ARC) mo nga pane AR/VR. Ka peia ano e ratou nga punaha LiDAR miihini matatau. Me āta whakahurihia e koe nga paparanga o te teitei me te iti o nga rauemi taupū whakaata. He rite tonu enei paparanga ki nga hanganga moroiti. Ka whakakakahuhia nga huānga hanganga nano matatini kia taurite. Ko tenei paparanga tika ka whakakore i nga whakaata atanga na roto i te pokanoa kino. Ka whakanuia te tuku marama ki te kaiwhakamahi.

Ko nga karu mokowhiti me nga tono-UV hohonu e hiahia ana kia kaha ake nga paerewa. E hiahia ana ratou kia tino parakore, kia kore he koha paninga whatu . Ko enei kiriata parakore ka aukati i te marara marama i roto i nga taputapu tairongo. Ka mau ano hoki i nga ahuatanga taiao tino kitea i roto i te orbit. Ko nga rereketanga o te pāmahana i roto i te waahi ka tere te whakangaro i nga kiriata ngoikore. Ko nga here ngota i hangaia i te wa o te chemisorption ka ora tonu i enei nekehanga kino.

E whakaatu ana nga pae kupenga hihiko tino kaha i nga hua mahi whakamiharo. Ko nga tohu tohu ahumahi e whakaatu ana i nga hua pai ma te whakamahi i nga waahanga nano motuhake. Ka kite matou i enei whakapainga i roto i nga taiwhanga whakaahua hou.

1. Ka tukuna e nga miihini TiO2 me te Al2O3 nano-laminate tika ki nga pae kupenga tuku hohonu.

2. Ko tenei huinga rawa tika ka eke ki te 90 paiheneti te pai o te rereketanga.

3. Ko te paparanga rite e mau tonu ana te hanganga i raro i nga taumahatanga rereke rereke.

Ka whai hua ano te mata taiaho mai i tenei hangarau. Ka whakamahia e nga Kaihanga nga paparanga HfO2 me SiO2 i konei. Ko enei kohinga waikura motuhake ka eke ki nga paepae kino laser tino teitei (LIDT). He mea tino nui te LIDT teitei mo nga taputapu tapahi ahumahi. Ko te pono o te taiaho rongoa ka whakawhirinaki tika ki enei kiriata pakari, kore-pinhole.

Hangarau Arā Atu Anō: Te Whakaata Whakaata Whakaata me te Whakahaere Ahumahi

Ko te ALD o naianei ka iriti i nga kaha o te whakaata whatu. Ka taea e koe te miihini i nga kiriata nanoporous ki te whakatutuki i nga tohu whakaata iti-iti. Tuatahi, ka whakatakoto koe i nga paparanga ranu penei i a SiO2 me Al2O3. Ka hangaia e koe enei huringa ma ia huringa. I muri mai, ka tono koe i te makuku makutu tino whiriwhiri. Ko tenei tukanga matū ka tango i nga rauemi konumohe waikura motuhake ma te rautaki. Ka waiho i muri i nga hanganga nanoporous mokitokito i roto i te matrix hauhā.

Ko tenei tikanga maamaa ka iriti i te porosity tino pai. Ka turakina te taupū whakaata kia iti rawa. Ka taea e koe te eke ki te taurangi 1.15. Ko nga tikanga whakakikorua paerewa kore rawa e eke ki tenei ine. I te nuinga o te wa ka pa ki te rohe pakeke a tawhio noa 1.38. Ko tenei whakapainga nui ka awhina i nga miihini ki te hoahoa i nga taapu whakaahuru aunui tino pai.

Ko te mana ahotea miihini he wero miihini nui ano. Ko te whakatinana i nga kiriata whatu matotoru ka raru te hangahanga. He maha nga wa ka kite koe i te pakaru, i te delamination ranei i runga i nga taputapu whatu tairongo. Ka tipu noa te awangawanga i te wa roa o te tipu o te kiriata. Ka whakatauhia e matou tenei take nui ma te whakamahi i te Plasma-Assisted ALD (PEALD).

Ko te tono i te ngaohiko rītaha kua whakawhāitihia i te wā o te PEALD ka kaha te whakarereke i te ahotea kiriata. Ka pupuhi nga katote plasma i te mata tipu. Ko tenei pupuhi katote ka whakatiki i nga papa ngota. He angitu te huri i te ahotea tensile raru ki te ahotea kopeke tino pumau. Ko te ahotea kōpeketanga ka pana te kiriata ki te tïpako. Ka aukati i nga kapiti mokitokito kia toro atu i raro i te paihikara waiariki.

Nga Tikanga Pai: Whakamahia te whakatikatika maaku kia tika te whakahaere i nga taumata porosity tika.

Nga Hapa Matanoa: Ko te kore e aro ki te toenga o te ahotea o te kiriata ka arahi ki te whakamomori noa i roto i te waa, ka whakangaro i nga arotahi utu nui.

Te Whakatau i te Pounamu Puawai: ALD mokowhiti me te Rahui-Ranga

I nga wa o mua, i kii nga kaihanga i te tino whakapae mo te hangarau. Ko te matū o raro e whakawhirinaki ana ki nga reiti tipu-waahi. Ka tukatukahia e te miihini tuku iho te huringa kotahi. Kare e taea te whakapohehe he puhoi tenei huarahi huri noa. Ko nga mahi hou o nga taputapu hou e aro tika ana ki tenei kohanga maatatanga nui.

Rongoā 1: Plasma-Enhanced Spatial ALD (PE-sALD). Ko tenei tikanga hurihuri ka huri katoa i te kaupapa matua. Ka neke atu i nga putere o mua i wehe i te waa. Engari, ka whakamahia e ia nga waahi matū kua wehea. He tere te neke o te tïpako i waenga i enei rohe hau. Ka wehea marietia nga matū tauhohenga e nga arai hau. Ko nga punaha sALD o naianei ka eke ki te tuku tere, tere tere. He ngawari noa ta ratou whakataetae i nga reiti PVD tuku iho. Ka whiwhi koe i te tere nui me te kore e patu i te tika o te taumata ngota.

Otinga 2: Te Tukatuka Puranga-Kairahi. Ka taea e koe te uta i nga mano o nga waahanga whatu i te wa kotahi. Ko nga ruma korehau nui o naianei he tino pai te whakahaere i nga puranga nui. Ko tenei huarahi nui ka whakataurite i te wa o te huringa takitahi. He pai te whakaputa inenga whakaputa mo ia waahanga. He pai ki te hanga arotahi iti, nui-nui.

Otinga 3: Nga Mahinga Waahu-iti. Ko te tukatuka waiariki paerewa me nui te wera hei akiaki i nga tauhohenga matū. Ko te awhina plasma ka huri katoa i tenei hihiri. He tino pai te pakaru o te plasma ngota ngota o mua. E whakarato ana i te kaha whakahohenga e tika ana. Ma tenei ka taea te tuku tere i runga i nga optic polymer tairongo-mahana. Ka tutuki koe i nga kiriata-kounga teitei me te kore e nui rawa atu nga tahua waiariki. Ka noho haumaru tonu nga arotahi polymer mai i te rewa, i te weriweri ranei.

Te Aromatawai i nga Taputapu ALD: Te Whakanuia, Te Whakakotahitanga, me te Whakahaere Tomua

Me tino arotake e nga kaiwhakahaere o nga taputapu te whakawhanuitanga o nga taputapu. Ka anga koe ki nga ahuatanga whakaurunga nui i te wa e whakahou ana i nga raina whakaputa hohe. Me whakatau e koe te whakatakotoranga tinana pai mo to wheketere. Ko etahi o nga whakaurunga e hoko ana i nga ruuma roopu-nui. He pai rawa atu enei waahanga mo nga oma-nui-nui, hua-kotahi. Hei tauira, ka taea e koe te whakauru i nga waahanga iti ki roto i nga punaha kohinga o naianei. Ko nga taputapu hou he ngawari ki te whakauru i nga papa angiangi 100mm ki te 300mm. Ko tenei ahuatanga ka whakarite kia maeneene te whakauru rerengamahi.

Ko te whakahiatotanga ka whakaatu mai i nga morearea pai o te whakahaere. Ko nga ruuma korehau nui ake ka arai ki te ururua nui. Ko nga ngota ngota hau ka peke i nga waahi koretake. Me arotake koe i nga kaihoko taputapu i runga i o raatau otinga whakahaere. Rapua nga punaha hangarua kati-koropiko mohio. Ka kapohia e enei punaha nga matū kaore i whakamahia. Ka purea, ka whangai ano ki te huringa tauhohenga. Ka whakaitihia e nga punaha whakahaere aunoa nga para matū. Ka tere te neke i nga taputapu me te whakapai ake i te haumaru o te wheketere.

Ka tino taunaki matou ki te whai i te arorau whakaraarangi poto. Tonoa nga kaihanga whakatau ki te tono tauira paninga tuatahi. Kaua e ti'aturi noa i runga i nga pepa angiangi papatahi. Whakamatautauria enei tauira ki o ahuahanga matatini. Whakaratohia nga kaihoko ki nga arotahi tino piko. Tukuna mai ki a ratou o kupenga owehenga teitei. Me tino manatoko koe i te kapi o te taahiraa me te riterite. Ko te tātari-wahanga moroiti ka kitea te kounga o te paninga pono.

Whakamutunga

Ko te whanaketanga tere o te mokowā me te plasma-whakarei ALD ka huri i te ahumahi whatu. Kua huri katoa i roto i nga tau tekau kua hipa. I neke mai i te puhoi R&D papai ki roto i nga mahi whakangao nui. Ko nga mahi o naianei e kii ana i tenei taumata tika o te whakahaere me te tauineine. Kaore e taea e nga tikanga tuku iho te whai i nga whakaritenga 3D uaua.

Whakaarohia enei mahi ka whai ake mo to whare:

• Arotakehia to ngaronga hua o naianei e herea ana ki nga paanga-taha PVD.

• Tautuhia nga rahunga o te kapi-taahiraa motuhake i roto i nga mahi whakakikorua o naianei.

• Whakauruhia nga kaihoko taputapu motuhake mo te oma tohu-a-arii.

• Whakamanahia to herenga waiariki me te urunga ma te whakamahi i nga tauira ahuahanga Ahu-3.

Ma te whai i enei mahi ka taea e koe te whakatakoto i te rautaki tukunga tino whai hua ka taea.

FAQ

P: He pehea te whakataurite o te reiti waipara o ALD ki te PVD mo nga paninga whatu?

A: He tino puhoi te ALD waiariki tuku iho, he 0.1 nm pea te whakatakoto i ia huringa. Heoi, ko te ALD mokowā hou (sALD) me te tukatuka puranga-nui kua tino kati i tenei aputa puta. Ko enei whakahoutanga tere ka tino whai hua te mahi hokohoko mo te hanga papatipu, he whakataetae i nga tere PVD.

P: Ka taea te whakamahi i te ALD ki nga polymers whatu tairongo-mahana?

A: Ae. Ko te ALD (PEALD) ka awhinahia e te Plasma ka taea te tuku kiriata kounga teitei i nga pāmahana tino iti. He pai te wawahi i nga kaamua me te kore e nui te wera ambient. Ko tenei tikanga matatau ka pupuri i te pono o te polymer i te wa e rite katoa ana ki te kounga whakakikorua o nga tikanga waiariki tuku iho.

P: He aha te teitei o te ahua o te ALD ka taea te whakakakahu angitu?

A: Ka taea e te tukanga te whakakikoruatanga tino rite puta noa i nga topographies tino. He pono ka kapi i nga ahuatanga owehenga o te 30:1 nui ake ranei. Ko tenei mana motuhake e pai ana ki te whakakikorua i nga pae kupenga whatu-a-whare, nga rawa pore, me nga arotahi iti tino kopikopiko.