កម្មវិធីសំខាន់ៗរបស់ ALD ក្នុងការអភិវឌ្ឍន៍ថ្នាំកូតអុបទិកបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។

ការផលិតអុបទិកបច្ចុប្បន្នប្រឈមមុខនឹងចំណុចឆ្លងដ៏ធំ។ ឧបករណ៍ទំនើបទាមទារធរណីមាត្រ 3D កាន់តែស្មុគស្មាញ។ យើងឃើញវាយ៉ាងស្រួចស្រាវនៅក្នុងកាស AR/VR, automotive LiDAR, និង aerospace optics ។ វិធីសាស្រ្តនៃការបន្ទោរបង់តាមបែបប្រពៃណីបានប៉ះពាល់ដល់ដែនកំណត់រាងកាយយ៉ាងរហ័សនៅទីនេះ។ យើង​មិន​អាច​ពឹង​ផ្អែក​តែ​លើ​បច្ចេកទេស​ខ្សែ​នៃ​ការ​មើល​ឃើញ​ដែល​មាន​កេរ្តិ៍​ដំណែល​ទៀត​ហើយ។ ពួកវាបរាជ័យក្នុងការស្រោបកែវដែលមានកោងខ្លាំង ឬស្រទាប់ជ្រៅៗឱ្យស្មើគ្នា។

បញ្ចូលការដាក់ស្រទាប់អាតូមិក (ALD)។ ឧស្សាហកម្មធ្លាប់បានមើលវាសុទ្ធសាធជាឧបករណ៍ R&D ពិសេស។ ឥឡូវនេះ វាឈរជាដំណោះស្រាយដែលត្រៀមរួចជាស្រេចក្នុងការផលិតដ៏រឹងមាំ។ វាផ្តល់នូវភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ ថ្នាំកូតអុបទិក ដោយគ្មានកំហុស។ វាផ្តល់នូវឯកសណ្ឋានដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាននៅទូទាំងតំបន់ផ្ទៃស្មុគស្មាញ។

អត្ថបទនេះបម្រើជាការណែនាំវាយតម្លៃ។ យើងបានសរសេរវាសម្រាប់វិស្វករអុបទិក និងអ្នកគ្រប់គ្រងឧបករណ៍។ យើង​នឹង​ថ្លឹងថ្លែង​ពី​ការ​ទទួល​បាន​ការ​អនុវត្ត​ច្បាស់​លាស់ ald សម្រាប់ថ្នាំកូតអុបទិក ប្រឆាំងនឹងការបារម្ភនៃចរន្តប្រវត្តិសាស្ត្រ។ អ្នកនឹងរៀនច្បាស់អំពីរបៀបដែលប្រព័ន្ធលំហទំនើប និងជំនួយប្លាស្មាដោះស្រាយបញ្ហាស្ទះចាស់។ ចំណេះដឹងនេះធានានូវការរួមបញ្ចូលអុបទិកដែលអាចធ្វើមាត្រដ្ឋានបាន និងគ្មានកំហុស។

គន្លឹះ​យក

• ឧត្តមភាពនៃការអនុវត្ត៖ ALD ផ្តល់នូវការស្រោបអុបទិកដែលមិនមានប្រហោង និងស្របគ្នាលើផ្ទៃ 3D ស្មុគ្រស្មាញ (ឧទាហរណ៍ កញ្ចក់ឆ្លុះ កញ្ចក់រាងប៉ោង) ដែល PVD និង PECVD ទទួលរងពីការគ្របដណ្តប់ជំហានមិនល្អ។

• ការលៃតម្រូវអុបទិកកម្រិតខ្ពស់៖ បច្ចេកទេសដូចជា nano-laminating និង nanoporous deposition អនុញ្ញាតឱ្យវិស្វកម្មសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរខ្លាំង (ចុះដល់ 1.15) និងការគ្រប់គ្រងភាពតានតឹងមេកានិចច្បាស់លាស់។

• មាត្រដ្ឋានផលិតកម្ម៖ ការច្នៃប្រឌិតថ្មីនៅក្នុងប្លាស្មាដែលបង្កើនទំហំ ALD (PE-sALD) និងដំណើរការជាក្រុមធំបានបិទភ្ជាប់គម្លាតឆ្លងកាត់ប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ដោយឈានដល់អត្រានៃការដាក់ប្រាក់ដែលប្រៀបធៀបទៅនឹង PVD ។

• លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យវាយតម្លៃ៖ ការជ្រើសរើសអ្នកលក់គួរតែកំណត់អាទិភាពលើដែនកំណត់កម្ដៅនៃស្រទាប់ខាងក្រោម សមាមាត្រដែលត្រូវការ និងការបន្ធូរបន្ថយការចំណាយសរុបនៃកម្មសិទ្ធិ (TCO) ដូចជាការកែច្នៃឡើងវិញជាមុន។

ករណីអាជីវកម្ម៖ ហេតុអ្វីបានជាការដាក់ប្រាក់តាមបែបប្រពៃណីបរាជ័យលើអុបទិក 3D ដ៏ស្មុគស្មាញ

ប្រព័ន្ធកេរ្តិ៍ដំណែលតស៊ូដើម្បីបំពេញតម្រូវការអុបទិកជំនាន់ក្រោយ។ យើងសង្កេតឃើញការបរាជ័យនេះយ៉ាងច្បាស់នៅពេលលាបកញ្ចក់កម្រិតខ្ពស់។ ការបញ្ចេញចំហាយរាងកាយ (PVD) ប្រើប្រាស់ការបំភាយរាងកាយ ឬហួត។ វាពូកែជាចម្បងនៅស្រទាប់ខាងក្រោមរាបស្មើ។ វាផ្តល់នូវអត្រាការប្រាក់ខ្ពស់ខ្លាំង។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ PVD ពឹងផ្អែកទាំងស្រុងលើរូបវិទ្យាបន្ទាត់នៃការមើលឃើញ។ វាបរាជ័យជាមូលដ្ឋាននៅឯថ្នាំកូតដែលមានសមាមាត្រខ្ពស់។ វាមិនអាចធានាបាននូវការគ្របដណ្តប់ស្របគ្នាលើផ្ទៃកោងខ្លាំងនោះទេ។ អ្នកតែងតែឃើញឥទ្ធិពលស្រមោលនៅលើលេណដ្ឋានជ្រៅ។ សម្ភារៈមិនអាចទៅដល់ជ្រុងខាងក្រោមប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពនោះទេ។

Plasma-Enhanced CVD (PECVD) ផ្តល់នូវល្បឿនដ៏អស្ចារ្យ។ ប្លាស្មាជំរុញឱ្យមានប្រតិកម្មគីមីយ៉ាងលឿនឆ្លងកាត់ស្រទាប់ខាងក្រោម។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយ វាខ្វះការគ្រប់គ្រងកម្រិតអាតូមិក។ ការខ្វះខាតនេះបណ្តាលឱ្យមានបញ្ហាឯកសណ្ឋានធ្ងន់ធ្ងរលើធរណីមាត្រស្មុគស្មាញ។ ម៉ូលេគុលប្រមូលផ្តុំមិនស្មើគ្នាជុំវិញជ្រុងតឹង។ អ្នកបាត់បង់ភាពអត់ធ្មត់អុបទិកពិតប្រាកដដែលត្រូវការសម្រាប់ photonics ទំនើប។

ALD នាំមកនូវអត្ថប្រយោជន៍ជាមូលដ្ឋានជាក់លាក់។ វាប្រើការកំណត់ដោយខ្លួនឯង វដ្តប្រតិកម្មផ្អែកលើគីមី។ អ្នកណែនាំឧស្ម័នមុនចូលទៅក្នុងអង្គជំនុំជម្រះ។ វាមានប្រតិកម្មតែជាមួយផ្ទៃដែលមាន។ ប្រតិកម្មនឹងឈប់ដោយស្វ័យប្រវត្តិ នៅពេលដែលផ្ទៃឆ្អែតទាំងស្រុង។ បន្ទាប់មកអ្នកសម្អាតបន្ទប់ដោយឧស្ម័នអសកម្ម។ បន្ទាប់មក អ្នកណែនាំសារធាតុប្រតិកម្មទីពីរ។ វាមានប្រតិកម្មជាមួយនឹងស្រទាប់ទីមួយយ៉ាងរលូន។ អ្នកសម្អាតបន្ទប់ម្តងទៀត។

វដ្តជាក់លាក់នីមួយៗជាធម្មតាដាក់ប្រាក់យ៉ាងពិតប្រាកដ 1 Å នៃសម្ភារៈ។ យន្តការដែលអាចទុកចិត្តបាននេះធានាការគ្របដណ្តប់ស្របគ្នា 100 ភាគរយ។ វាលុបបំបាត់រន្ធមីក្រូទស្សន៍ទាំងស្រុង។ អ្នកទទួលបានកំរាស់នៃខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋានឥតខ្ចោះនៅទូទាំងសមាសធាតុអុបទិកដ៏ស្មុគស្មាញបំផុត។

ការអនុវត្តល្អបំផុត៖ តែងតែគូសផែនទីសមាមាត្រនៃស្រទាប់ខាងក្រោមរបស់អ្នក មុនពេលជ្រើសរើសវិធីសាស្ត្រដាក់ប្រាក់។ ការធ្វើផែនទីត្រឹមត្រូវការពារការខូចទ្រង់ទ្រាយខាងក្រោម។

កំហុសទូទៅ៖ ការពឹងផ្អែកលើ PVD សម្រាប់ការជីករណ្តៅជ្រៅជារឿយៗបណ្តាលឱ្យមានផលប៉ះពាល់ធ្ងន់ធ្ងរ និងការបាត់បង់ទិន្នផលយ៉ាងច្រើន។

កម្មវិធីដែលមានតម្លៃខ្ពស់នៃ ALD នៅក្នុងថ្នាំកូតអុបទិក

ហាដវែរជំនាន់ក្រោយទាមទារឱ្យមានស្រទាប់ពិសេស។ វិស្វករអនុវត្តវិធីសាស្រ្តច្បាស់លាស់ទាំងនេះនៅទូទាំងផ្នែកដែលត្រូវការមួយចំនួន។ ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង (ARC) គឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់កាស AR/VR ។ ពួកគេក៏ជំរុញប្រព័ន្ធរថយន្តទំនើប LiDAR ផងដែរ។ អ្នកត្រូវតែជំនួសស្រទាប់នៃសម្ភារៈសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរខ្ពស់ និងទាបដោយប្រុងប្រយ័ត្ន។ ស្រទាប់ទាំងនេះអនុលោមតាមរចនាសម្ព័ន្ធមីក្រូ។ ពួកវាស្រោបធាតុណាណូស្មុគ្រស្មាញឱ្យស្មើគ្នា។ ស្រទាប់ច្បាស់លាស់នេះមានប្រសិទ្ធភាពបន្សាបការឆ្លុះបញ្ចាំងលើចំណុចប្រទាក់តាមរយៈការជ្រៀតជ្រែកដែលបំផ្លិចបំផ្លាញ។ វាពង្រីកការបញ្ជូនពន្លឺដោយផ្ទាល់ទៅកាន់អ្នកប្រើប្រាស់។

កែវយឺតអវកាស និងកម្មវិធីជ្រៅ UV ទាមទារស្តង់ដារតឹងរ៉ឹងជាងមុន។ ពួកគេត្រូវការភាពបរិសុទ្ធបំផុត គ្មានពិការភាព ថ្នាំកូតអុបទិក ។ ខ្សែភាពយន្តសុទ្ធទាំងនេះការពារការខ្ចាត់ខ្ចាយពន្លឺដែលរំខាននៅក្នុងឧបករណ៍រសើប។ ពួកគេក៏ទប់ទល់នឹងលក្ខខណ្ឌបរិស្ថានខ្លាំងដែលត្រូវបានរកឃើញនៅក្នុងគន្លង។ ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពយ៉ាងខ្លាំងនៅក្នុងលំហ បំផ្លាញខ្សែភាពយន្តដែលខ្សោយយ៉ាងឆាប់រហ័ស។ ចំណងអាតូមិកដែលបានបង្កើតឡើងកំឡុងពេលស្រូបយកគីមីអាចរស់រានមានការផ្លាស់ប្តូរដ៏ឃោរឃៅទាំងនេះដោយមិនប្រឹងប្រែង។

Gratings spectrometer ប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់បង្ហាញពីការកើនឡើងគួរឱ្យកត់សម្គាល់។ ស្តង់ដារឧស្សាហកម្មបង្ហាញពីលទ្ធផលដ៏ល្អឥតខ្ចោះដោយប្រើ nanomaterials ជាក់លាក់។ យើងសង្កេតឃើញការកែលម្អទាំងនេះជាញឹកញាប់នៅក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍ photonics ទំនើប។

1. វិស្វករប្រើប្រាស់បន្ទះ nano-laminate TiO2 និង Al2O3 ដោយផ្ទាល់ទៅកាន់ឧបករណ៍បញ្ជូនជ្រៅ។

2. ការរួមបញ្ចូលគ្នានៃសម្ភារៈច្បាស់លាស់នេះសម្រេចបាននូវប្រសិទ្ធភាពនៃការបង្វែរច្រើនជាង 90 ភាគរយយ៉ាងជឿជាក់។

3. ស្រទាប់អនុលោមតាមរក្សាបាននូវស្ថេរភាពរចនាសម្ព័ន្ធដ៏ល្អឥតខ្ចោះនៅក្រោមបន្ទុកអុបទិកខុសៗគ្នា។

ឡាស៊ែរអុបទិកក៏ទទួលបានអត្ថប្រយោជន៍យ៉ាងច្រើនពីបច្ចេកវិទ្យានេះ។ អ្នកផលិតប្រើស្រទាប់ HfO2 និង SiO2 ច្បាស់លាស់នៅទីនេះ។ ជង់អុកស៊ីដជាក់លាក់ទាំងនេះសម្រេចបាននូវកម្រិតនៃការខូចខាតឡាស៊ែរខ្ពស់ (LIDT) ។ LIDT ខ្ពស់គឺពិតជាមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ឧបករណ៍កាត់ឧស្សាហកម្ម។ ភាពជឿជាក់នៃឡាស៊ែរវេជ្ជសាស្រ្តក៏អាស្រ័យដោយផ្ទាល់ទៅលើខ្សែភាពយន្តដ៏រឹងមាំ និងគ្មានរន្ធ។

វិស្វកម្មកម្រិតខ្ពស់៖ ការលៃតម្រូវសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ និងការគ្រប់គ្រងភាពតានតឹង

ALD សម័យទំនើបដោះសោសមត្ថភាពលៃតម្រូវអុបទិកដ៏មានឥទ្ធិពល។ អ្នក​អាច​បង្កើត​ខ្សែភាពយន្ត nanoporous ដើម្បី​សម្រេច​បាន​សន្ទស្សន៍​ចំណាំងបែរ​ទាប​បំផុត។ ដំបូង អ្នកដាក់ស្រទាប់កូនកាត់ដូចជា SiO2 និង Al2O3។ អ្នកបង្កើតវដ្តទាំងនេះតាមវដ្ត។ បន្ទាប់​មក​អ្នក​អនុវត្ត​ការ​គូស​សើម​ដែល​មាន​ជម្រើស​ខ្ពស់​។ ដំណើរការគីមីនេះដកចេញនូវសមា្ភារៈអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូមជាក់លាក់តាមយុទ្ធសាស្ត្រ។ វាទុកនៅពីក្រោយរចនាសម្ព័ន្ធ nanoporous មីក្រូទស្សន៍នៅក្នុងម៉ាទ្រីសស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត។

បច្ចេកទេសដ៏អស្ចារ្យនេះដោះសោ porosity ដែលអាចលៃតម្រូវបានខ្ពស់។ វារុញសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរចុះទាបមិនគួរឱ្យជឿ។ អ្នកអាចឈានដល់សន្ទស្សន៍ 1.15 ។ វិធីសាស្រ្តនៃការស្រោបរូបវ័ន្តស្តង់ដារ អនុវត្តមិនដែលឈានដល់ម៉ែត្រនេះទេ។ ជាធម្មតាពួកគេឈានដល់ដែនកំណត់រឹងនៅជុំវិញ 1.38 ។ ការកែលម្អដ៏ធំនេះជួយវិស្វកររចនាជង់ប្រឆាំងការឆ្លុះបញ្ចាំងដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។

ការគ្រប់គ្រងភាពតានតឹងមេកានិចបង្ហាញពីបញ្ហាប្រឈមផ្នែកវិស្វកម្មដ៏ធំមួយទៀត។ ការអនុវត្តខ្សែភាពយន្តអុបទិកក្រាស់ប្រឈមនឹងការបរាជ័យរចនាសម្ព័ន្ធ។ ជាញឹកញាប់អ្នកឃើញការប្រេះ ឬ delamination នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមអុបទិកដែលងាយរងគ្រោះ។ ភាព​តានតឹង​បង្កើត​ឡើង​ដោយ​ធម្មជាតិ​ក្នុង​កំឡុង​ពេល​ការ​ពង្រីក​ភាព​យន្ត។ យើងដោះស្រាយបញ្ហាចុចនេះដោយប្រើប្លាស្មាជំនួយ ALD (PEALD)។

ការអនុវត្តវ៉ុលលំអៀងគោលដៅកំឡុងពេល PEALD កែប្រែភាពតានតឹងខ្សែភាពយន្តយ៉ាងសកម្ម។ អ៊ីយ៉ុងប្លាស្មាវាយប្រហារលើផ្ទៃដែលកំពុងលូតលាស់ដោយថ្នមៗ។ ការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងនេះបង្រួមស្រទាប់អាតូមិក។ វាបំប្លែងភាពតានតឹង tensile ដែលមានបញ្ហាដោយជោគជ័យទៅជាភាពតានតឹងបង្ហាប់ដែលមានស្ថេរភាពខ្ពស់។ ភាពតានតឹងបង្ហាប់រុញខ្សែភាពយន្តយ៉ាងតឹងរឹងប្រឆាំងនឹងស្រទាប់ខាងក្រោម។ វាការពារការបំបែកមីក្រូទស្សន៍ពីការពង្រីកនៅក្រោមការជិះកង់កម្ដៅ។

ការអនុវត្តល្អបំផុត៖ ប្រើការក្រិតតាមខ្នាតសើមដោយប្រុងប្រយ័ត្ន ដើម្បីគ្រប់គ្រងកម្រិត porosity យ៉ាងត្រឹមត្រូវ។

កំហុសទូទៅ៖ ការមិនអើពើនឹងភាពតានតឹងក្នុងខ្សែភាពយន្តដែលនៅសេសសល់ច្រើនតែនាំឱ្យមានការខូចទ្រង់ទ្រាយដោយឯកឯងតាមពេលវេលា បំផ្លាញកែវថតដែលមានតម្លៃថ្លៃ។

ការយកឈ្នះលើការឆ្លងនៃរន្ធគូថ៖ លំហ និងធំ ALD

ជាប្រវត្តិសាស្ត្រ ក្រុមហ៊ុនផលិតបានសម្តែងការសង្ស័យយ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរទាក់ទងនឹងបច្ចេកវិទ្យា។ គីមីវិទ្យាមូលដ្ឋានពឹងផ្អែកលើអត្រាកំណើនដែលពឹងផ្អែកខ្លាំងលើពេលវេលា។ ម៉ាស៊ីនប្រពៃណីដំណើរការមួយវដ្តជាបន្តបន្ទាប់។ វិធីសាស្រ្តពីមួយទៅមួយវដ្តនេះគឺយឺតមិនអាចប្រកែកបាន។ ការច្នៃប្រឌិតបរិក្ខារទំនើបៗដោះស្រាយដោយផ្ទាល់នូវបញ្ហាស្ទះដ៏សំខាន់នេះ។

ដំណោះស្រាយទី 1: ប្លាស្មា បង្កើនទំហំ ALD (PE-sALD) ។ វិធីសាស្រ្តបដិវត្តន៍នេះផ្លាស់ប្តូរគំរូស្នូលទាំងស្រុង។ វាផ្លាស់ទីឆ្ងាយពីជីពចរដែលបំបែកដោយពេលវេលា។ ផ្ទុយទៅវិញ វាប្រើតំបន់គីមីដែលបំបែកជាលក្ខណៈលំហ។ ស្រទាប់ខាងក្រោមផ្លាស់ទីយ៉ាងលឿនរវាងតំបន់ឧស្ម័នបន្តទាំងនេះ។ វាំងននឧស្ម័នអសកម្មបំបែកសារធាតុគីមីប្រតិកម្មដោយសុវត្ថិភាព។ ប្រព័ន្ធ sALD ទំនើបសម្រេចបាននូវការបញ្ជូនបន្ត និងល្បឿនលឿន។ ពួកគេប្រកួតប្រជែងនឹងអត្រា PVD ប្រពៃណីយ៉ាងងាយស្រួល។ អ្នកទទួលបានល្បឿនដ៏ធំដោយមិនលះបង់ភាពជាក់លាក់កម្រិតអាតូមិច។

ដំណោះស្រាយទី 2: ដំណើរការបណ្តុំដែលមានសមត្ថភាពខ្ពស់។ អ្នកអាចផ្ទុកសមាសធាតុអុបទិករាប់ពាន់ក្នុងពេលដំណាលគ្នា។ បន្ទប់បូមធូលីធំទំនើបអាចគ្រប់គ្រងដុំធំៗប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ វិធីសាស្រ្តភាគច្រើននេះធ្វើឱ្យមានតុល្យភាពនៃពេលវេលាវដ្តបុគ្គលយឺតជាង។ វាផ្តល់នូវរង្វាស់ទិន្នផលក្នុងមួយផ្នែកដ៏ល្អ។ វាសាកសមនឹងការផលិតកែវតូច និងបរិមាណខ្ពស់យ៉ាងល្អឥតខ្ចោះ។

ដំណោះស្រាយទី 3: សមត្ថភាពសីតុណ្ហភាពទាប។ ដំណើរការកំដៅស្តង់ដារតម្រូវឱ្យមានកំដៅខ្ពស់ដើម្បីជំរុញឱ្យមានប្រតិកម្មគីមី។ ជំនួយប្លាស្មាផ្លាស់ប្តូរថាមវន្តនេះទាំងស្រុង។ ប្លាស្មាបំបែកម៉ូលេគុលមុនគេប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ វាផ្តល់ថាមពលសកម្មចាំបាច់។ នេះអនុញ្ញាតឱ្យមានការទម្លាក់យ៉ាងលឿនលើវត្ថុធាតុ polymer អុបទិកដែលងាយនឹងសីតុណ្ហភាព។ អ្នកសម្រេចបាននូវខ្សែភាពយន្តដែលមានគុណភាពខ្ពស់ដោយមិនមានលើសពីថវិកាកម្ដៅដ៏តឹងរឹង។ កញ្ចក់វត្ថុធាតុ polymer នៅតែមានសុវត្ថិភាពទាំងស្រុងពីការរលាយ ឬការរហែក។

ការវាយតម្លៃឧបករណ៍ ALD៖ ការធ្វើមាត្រដ្ឋាន ការរួមបញ្ចូល និងការគ្រប់គ្រងជាមុន

អ្នកគ្រប់គ្រងគ្រឿងបរិក្ខារត្រូវតែវាយតម្លៃសមត្ថភាពឧបករណ៍យ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្ន។ អ្នកប្រឈមមុខនឹងការពិតសមាហរណកម្មដ៏សំខាន់ នៅពេលធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវខ្សែផលិតកម្មសកម្ម។ អ្នក​ត្រូវ​តែ​សម្រេច​ចិត្ត​លើ​ប្លង់​រូបវន្ត​ដែល​ល្អ​បំផុត​សម្រាប់​រោងចក្រ​របស់​អ្នក។ គ្រឿងបរិក្ខារមួយចំនួនទទួលបានបន្ទប់ធំដាច់ដោយឡែក។ គ្រឿងទាំងនេះដំណើរការល្អបំផុតសម្រាប់ការដំណើរការផលិតផលតែមួយដែលមានបរិមាណខ្ពស់ជាក់លាក់។ ជាជម្រើស អ្នកអាចបញ្ចូលម៉ូឌុលតូចៗទៅក្នុងប្រព័ន្ធចង្កោមដែលមានស្រាប់។ គ្រឿងបរិក្ខារទំនើបអាចដាក់បានយ៉ាងងាយស្រួលនូវវេទិកា wafer ពី 100mm ទៅ 300mm ។ ម៉ូឌុលនេះធានាការរួមបញ្ចូលលំហូរការងារដោយរលូន។

ការធ្វើមាត្រដ្ឋានឡើងបង្ហាញពីហានិភ័យប្រសិទ្ធភាពប្រតិបត្តិការជាក់លាក់។ បន្ទប់បូមធូលីធំជាងនេះច្រើនតែនាំអោយមានកាកសំណល់មុនគេយ៉ាងច្រើន។ ម៉ូលេគុលឧស្ម័នលោតជុំវិញកន្លែងទំនេរដោយគ្មានប្រយោជន៍។ អ្នកត្រូវតែវាយតម្លៃអ្នកលក់ឧបករណ៍ដោយផ្អែកលើដំណោះស្រាយគ្រប់គ្រងមុនគេរបស់ពួកគេ។ ស្វែងរកប្រព័ន្ធកែឆ្នៃរង្វិលជុំបិទជិតដ៏ឆ្លាតវៃ។ ប្រព័ន្ធទាំងនេះចាប់យកសារធាតុគីមីដែលមិនប្រើប្រាស់យ៉ាងសកម្ម។ ពួកវាបន្សុទ្ធពួកវា ហើយចិញ្ចឹមវាចូលទៅក្នុងវដ្តប្រតិកម្មវិញ។ ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិក៏កាត់បន្ថយកាកសំណល់គីមីផងដែរ។ ពួកវាផ្លាស់ទីស្រទាប់ខាងក្រោមយ៉ាងលឿន និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវសុវត្ថិភាពរោងចក្រទាំងមូល។

យើងសូមផ្តល់អនុសាសន៍យ៉ាងខ្លាំងឱ្យធ្វើតាមតក្កវិជ្ជាបញ្ជីសម្រាំងដ៏តឹងរឹង។ សុំឱ្យអ្នកធ្វើការសម្រេចចិត្តស្នើសុំថ្នាំកូតគំរូជាមុនសិន។ កុំពឹងផ្អែកតែលើសន្លឹកជាក់លាក់ដែលមានរាងសំប៉ែត។ សាកល្បងគំរូទាំងនេះលើធរណីមាត្រស្មុគស្មាញជាក់លាក់របស់អ្នក។ ផ្តល់ឱ្យអ្នកលក់នូវកញ្ចក់កោងខ្ពស់។ ផ្ញើឱ្យពួកគេនូវការដឹងគុណដែលមានសមាមាត្រខ្ពស់របស់អ្នក។ អ្នកត្រូវតែផ្ទៀងផ្ទាត់យ៉ាងម៉ត់ចត់នូវការគ្របដណ្តប់ជំហាន និងឯកសណ្ឋានដោយផ្ទាល់។ ការវិភាគផ្នែកឆ្លងកាត់មីក្រូទស្សន៍នឹងបង្ហាញពីគុណភាពថ្នាំកូតពិតប្រាកដ។

សេចក្តីសន្និដ្ឋាន

ការវិវត្តន៍យ៉ាងឆាប់រហ័សនៃ ALD ដែលបង្កើនទំហំ និងប្លាស្មាបានផ្លាស់ប្តូរឧស្សាហកម្មអុបទិកជាអចិន្ត្រៃយ៍។ វាបានផ្លាស់ប្តូរទាំងស្រុងក្នុងរយៈពេលមួយទសវត្សរ៍ចុងក្រោយនេះ។ វាបានផ្លាស់ប្តូរពីភាពប្រណិត R&D យឺតទៅជាតម្រូវការផលិតកម្មក្នុងបរិមាណខ្ពស់។ ផលិតកម្មទំនើបទាមទារកម្រិតច្បាស់លាស់នៃការគ្រប់គ្រង និងការធ្វើមាត្រដ្ឋាន។ វិធីសាស្រ្តប្រពៃណីមិនអាចរក្សាបានតាមតម្រូវការ 3D ដ៏ស្មុគស្មាញនោះទេ។

ពិចារណាជំហានបន្ទាប់ដែលអាចធ្វើសកម្មភាពបានខ្ពស់ទាំងនេះសម្រាប់ឧបករណ៍របស់អ្នក៖

• ធ្វើសវនកម្មការខាតបង់ទិន្នផលផលិតកម្មបច្ចុប្បន្នរបស់អ្នកដែលទាក់ទងនឹងផលប៉ះពាល់ PVD ។

• កំណត់ការបរាជ័យក្នុងដំណាក់កាលគ្របដណ្តប់ជាក់លាក់នៅក្នុងដំណើរការថ្នាំកូតដែលមានស្រាប់របស់អ្នក។

• ចូលរួមជាមួយអ្នកលក់ឧបករណ៍ឯកទេសសម្រាប់ការដំណើរការភស្តុតាងនៃគំនិតដែលបានកំណត់។

• ធ្វើ​ឱ្យ​មាន​សុពលភាព​ភាព​ជាក់លាក់​នៃ​កំហិត​កម្ដៅ​និង​លំហូរ​ចូល​ដោយ​ប្រើ​ធរណីមាត្រ 3D គំរូ។

ការធ្វើតាមជំហានដោយចេតនាទាំងនេះ ធានាឱ្យអ្នកដាក់ពង្រាយយុទ្ធសាស្រ្តបោះចោលប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពបំផុតដែលអាចធ្វើទៅបាន។

សំណួរគេសួរញឹកញាប់

សំណួរ: តើអត្រានៃការដាក់ប្រាក់របស់ ALD ប្រៀបធៀបទៅនឹង PVD សម្រាប់ថ្នាំកូតអុបទិកយ៉ាងដូចម្តេច?

ចម្លើយ៖ កំដៅ ALD បែបប្រពៃណីគឺយឺតជាងយ៉ាងខ្លាំង ដោយដាក់ប្រាក់ប្រហែល 0.1 nm ក្នុងមួយវដ្ត។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ALD spatial ទំនើប (sALD) និងដំណើរការជាក្រុមធំបានបិទគម្លាតនៃដំណើរការនេះយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព។ ការបង្កើតថ្មីយ៉ាងឆាប់រហ័សទាំងនេះធ្វើឱ្យដំណើរការនេះមានលក្ខណៈពាណិជ្ជកម្មខ្ពស់សម្រាប់ផលិតកម្មទ្រង់ទ្រាយធំ ដែលប្រជែងនឹងល្បឿន PVD ។

សំណួរ៖ តើ ALD អាចប្រើលើប៉ូលីម័រអុបទិកដែលងាយនឹងសីតុណ្ហភាពដែរឬទេ?

A: បាទ។ ប្លាស្មាជំនួយ ALD (PEALD) អនុញ្ញាតឱ្យមានការបញ្ចេញខ្សែភាពយន្តគុណភាពខ្ពស់នៅសីតុណ្ហភាពទាបជាងយ៉ាងខ្លាំង។ វាបំបែកមុនគេយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ដោយមិនចាំបាច់មានកំដៅព័ទ្ធជុំវិញខ្ពស់។ វិធីសាស្រ្តទំនើបនេះរក្សាភាពផុយស្រួយនៃវត្ថុធាតុ polymer ខណៈពេលដែលត្រូវគ្នាទាំងស្រុងនូវគុណភាពថ្នាំកូតនៃដំណើរការកម្ដៅបែបប្រពៃណី។

សំណួរ៖ តើអ្វីជាសមាមាត្រអតិបរមាដែល ALD អាចស្រោបដោយជោគជ័យ?

ចម្លើយ៖ ដំណើរការនេះងាយស្រួលសម្រេចបាននូវថ្នាំកូតដែលមានឯកសណ្ឋានខ្ពស់នៅទូទាំងតំបន់ដីខ្លាំង។ វាគ្របដណ្តប់សមាមាត្រនៃ 30: 1 ឬខ្ពស់ជាងនេះគួរឱ្យទុកចិត្ត។ សមត្ថភាពអនុលោមភាពតែមួយគត់នេះធ្វើឱ្យវាជាជម្រើសដ៏ល្អសម្រាប់ការស្រោបស្រទាប់អុបទិកជ្រៅ សម្ភារៈដែលមានរន្ធ និងកញ្ចក់ខ្នាតតូចដែលមានរាងកោងខ្ពស់។