தமிழ் மொழி
பார்வைகள்: 0 ஆசிரியர்: தள ஆசிரியர் வெளியிடும் நேரம்: 2025-07-31 தோற்றம்: தளம்
பேண்ட்பாஸ் வடிகட்டி கண்ணாடியானது ஆப்டிகல் பொறியியலின் உச்சத்தை குறிக்கிறது, இது செமிகண்டக்டர் லித்தோகிராஃபி முதல் மருத்துவ நோயறிதல் வரையிலான பயன்பாடுகளுக்கு துல்லியமான அலைநீளத் தேர்வை செயல்படுத்துகிறது. குறிப்பிட்ட ஒளி பட்டைகளை கடத்துவதன் மூலம் (எ.கா., UV, புலப்படும் அல்லது IR) மற்றவற்றைத் தடுக்கும் போது, இந்த வடிகட்டிகள் முக்கியமான அமைப்புகளில் சமிக்ஞை தெளிவை மேம்படுத்துகின்றன. Taiyu Glass, போன்ற மேம்பட்ட பொருட்களைப் பயன்படுத்தி டெல்லூரைட் கண்ணாடி மற்றும் அதி-குறைந்த இரும்பு அடி மூலக்கூறுகள் >92% பரிமாற்றத்தை குறுகிய அலைவரிசைகளுடன் (85–140 nm) அடைகிறது, அவற்றை உயர் தொழில்நுட்பத் தொழில்களில் முக்கிய செயல்படுத்துபவர்களாக நிலைநிறுத்துகிறது. இந்த கட்டுரை தொழில்நுட்பம், உற்பத்தி கண்டுபிடிப்புகள் மற்றும் துல்லியமான ஆப்டிகல் வடிகட்டிகளுக்கான தேவையை மாற்றும் பயன்பாடுகள் ஆகியவற்றைப் பிரிக்கிறது.
1.1 கண்ணாடி அடி மூலக்கூறு பொறியியல்
டெல்லூரைட் கண்ணாடிகள் (TeO₂ அடிப்படையிலானது) :
குறைந்த ஃபோனான் ஆற்றல் (600 செ.மீ.
உயர் ஒளிவிலகல் குறியீடானது (n=2.0–2.3) மெல்லிய வடிப்பான்களை சமமான ஒளியியல் சக்தியுடன் செயல்படுத்துகிறது, எண்டோஸ்கோப்கள் போன்ற சிறிய சாதனங்களுக்கு முக்கியமானது.
போரோசிலிகேட் 3.3/4.0 :
குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கத்தை (3.3×10⁻⁶/K) உயர் இரசாயன எதிர்ப்புடன் ஒருங்கிணைத்து, இரசாயன உணரிகள் போன்ற அரிக்கும் சூழல்களில் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
1.2 தின்-ஃபிலிம் பூச்சு புதுமைகள்
அட்டவணை: பொதுவான பூச்சு பொருட்கள் மற்றும் செயல்திறன்
| பொருள் | செயல்பாடு | டிரான்ஸ்மிட்டன்ஸ் உச்ச | தடுப்பு வரம்பு |
|---|---|---|---|
| Ge/SiO₂ அடுக்கு | ஐஆர் பேண்ட்பாஸ் | 2.0-5.0 μm | UV-தெரியும் (<780 nm) |
| Ta₂O₅/MgF₂ | UV பேண்ட்பாஸ் | 250-400 நா.மீ | தெரியும்-IR (>450 nm) |
| ITO/Ag | என்ஐஆர் வடிப்பான்கள் | 750–1,300 நா.மீ | பிராட்பேண்ட் தடுப்பு |
Magnetron Sputtering : <0.5% தடிமன் மாறுபாடு கொண்ட நானோமீட்டர் அளவிலான அடுக்குகளை டெபாசிட் செய்கிறது, ±2 nm அலைவரிசை சகிப்புத்தன்மையை அடைகிறது.
அயன்-உதவி டெபாசிஷன் (ஐஏடி) : பூச்சு ஒட்டுதலை மேம்படுத்துகிறது, வடிப்பான்கள் 500+ வெப்ப சுழற்சிகளை நீக்கம் இல்லாமல் தாங்க அனுமதிக்கிறது.
2.1 மேற்பரப்பு சிகிச்சை நுட்பங்கள்
அமில பொறித்தல் : சீரான மேட் மேற்பரப்புகளை உருவாக்குகிறது (எ.கா., மருத்துவ காட்சிகளில் பரவிய-ஒளி வடிகட்டிகளுக்கு), >85% பரிமாற்றத்தை பராமரிக்கும் போது கண்ணை கூசும் குறைக்கிறது.
இரசாயன வலுவூட்டல் : KNO₃ உருகிய உப்பில் மூழ்குவது மேற்பரப்பு சுருக்கத்தை (≥700 MPa) தூண்டுகிறது, இது விண்வெளி உணரிகளுக்கான தாக்க எதிர்ப்பை அதிகரிக்கிறது.
2.2 தரக் கட்டுப்பாட்டு நெறிமுறைகள்
ஸ்பெக்ட்ரோஃபோட்டோமெட்ரி : 100% இன்லைன் ஸ்கேனிங் மைய அலைநீளத் துல்லியம் (±0.3 nm) மற்றும் OD6+ தடுப்பதை உறுதி செய்கிறது (எ.கா. தேவையற்ற ஒளியின் 99.9999% நிராகரிப்பு).
சுற்றுச்சூழல் சோதனை : கடினமான சூழ்நிலைகளில் நீண்ட ஆயுளைச் சரிபார்க்க வடிகட்டிகள் 1,000-மணிநேர ஈரப்பதம்/வெப்ப சுழற்சி (85°C இல் 85% RH) மேற்கொள்ளப்படுகின்றன.
3.1 செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி
EUV லித்தோகிராபி : மல்டிலேயர் மோ/எஸ்ஐ பேண்ட்பாஸ் ஃபில்டர்கள் (13.5 என்எம் சென்டர்) அடுத்த ஜென் சிப் வடிவமைப்பை செயல்படுத்துகிறது, மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை <0.2 என்எம் ஆர்எம்எஸ் மூலம் சிதறலைக் குறைக்கிறது.
வேஃபர் ஆய்வு : UV வடிகட்டிகள் (365 nm) பாதரச விளக்குகளிலிருந்து உமிழ்வுக் கோடுகளைத் தனிமைப்படுத்துவதன் மூலம் குறைபாடு கண்டறிதல் உணர்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
3.2 பயோமெடிக்கல் இமேஜிங்
Fluorescence Microscopy : 480/20 nm வடிப்பான்கள் GFP-குறியிடப்பட்ட புரதங்களைத் தனிமைப்படுத்தி, சிக்னல்-டு-இரைச்சல் விகிதங்களை 10× மற்றும் நிலையான வடிகட்டிகளை அதிகரிக்கிறது.
Blood Oximetry : 660/940 nm டூயல்-பேண்ட்பாஸ் வடிகட்டிகள் அணியக்கூடிய சாதனங்களில் SpO₂ அளவீட்டு துல்லியத்தை ±1% செயல்படுத்துகிறது.
3.3 பாதுகாப்பு மற்றும் விண்வெளி
ஏவுகணை வழிகாட்டுதல் : SWIR பேண்ட்பாஸ் வடிகட்டிகள் (1.5–1.6 μm) குறிப்பிட்ட என்ஜின் ப்ளூம் கையொப்பங்களைக் குறிவைத்து ஐஆர் சிதைவை எதிர்க்கின்றன.
செயற்கைக்கோள் இமேஜிங் : ரேட்-ஹார்ட் வடிகட்டிகள் 100 கிலோகிராம் காமா கதிர்வீச்சைத் தாங்கும் அதே வேளையில் பூமியின் கண்காணிப்புக்கான நிறமாலை நிலைத்தன்மையைப் பராமரிக்கின்றன.
4.1 டியூனபிள் பேண்ட்பாஸ் வடிகட்டிகள்
எலக்ட்ரோக்ரோமிக் சிஸ்டம்ஸ் : 5V ஷிஃப்ட் டிரான்ஸ்மிஷன் பேண்டுகளை ±15 nm ஆல் பயன்படுத்துகிறது (எ.கா., மாறும் ஒளி நிலைகளில் ட்ரோன் கேமராக்களுக்கான அடாப்டிவ் ஐஆர் ஃபில்டர்கள்).
MEMS-Driven Fabry-Pérot : மைக்ரோ-மிரர்ஸ் குழி அதிர்வுகளை மாறும் வகையில் சரிசெய்கிறது, கையடக்க சாதனங்களில் ஹைப்பர்ஸ்பெக்ட்ரல் இமேஜிங்கை செயல்படுத்துகிறது.
4.2 சுற்றுச்சூழல் உணர்வு உற்பத்தி
மறுசுழற்சி செய்யப்பட்ட டெல்லூரைட் கண்ணாடி : 40% வரை தொழில்துறைக்கு பிந்தைய குல்லட் உருகும் ஆற்றலை 30% குறைக்கிறது, ஒளியியல் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது.
முன்னணி-இலவச பூச்சுகள் : ZrO₂/SiO₂ அடுக்குகள் செயல்திறன் வர்த்தகம் இல்லாமல் UV வடிகட்டிகளுக்கான நச்சு காட்மியம் அடுக்குகளை மாற்றுகின்றன.
அட்டவணை: தொழில் சார்ந்த வடிவமைப்பு அளவுருக்கள்
| பயன்பாடு | முக்கிய அளவுருக்கள் | Taiyu கண்ணாடி தீர்வுகள் |
|---|---|---|
| லேசர் வெட்டுதல் | உயர் LIDT (≥10 J/cm²), CW 1,064 nm | Nd:YAG-தர வடிப்பான்கள் அயன்-பாலிஷ் செய்யப்பட்ட மேற்பரப்புகளுடன் |
| உணவு வகைப்பாடு | 720/40 என்எம் (குளோரோபில் கண்டறிதல்) | வாஷ் டவுன் சூழல்களுக்கான மூடுபனி எதிர்ப்பு பூச்சுகள் |
| VR ஹெட்செட்கள் | 530/40 nm (OLED உமிழ்வு) | <0.1° நிகழ்வு கோண சகிப்புத்தன்மை |
முன்மாதிரி ஆதரவு : CNC அரைத்தல்/பாலிஷிங் மூலம் விரைவான மறு செய்கை (7 நாட்களில் முன்மாதிரிகள், 4 வாரங்களில் தொகுதி உற்பத்தி).
1. பேண்ட்பாஸ் வடிகட்டிகள் எவ்வளவு குறுகியதாக தயாரிக்கப்படலாம்?
அல்ட்ரா-குறுகிய அலைவரிசைகள் 0.1-5 nm ஆனது அனைத்து மின்கடத்தா பூச்சுகளைப் பயன்படுத்தி அடையக்கூடியது, ஆனால் மகசூல் கட்டுப்பாடுகள் காரணமாக செலவுகள் 2 nm க்கும் கீழே அதிவேகமாக அதிகரிக்கின்றன. வழக்கமான தொழில்துறை வடிகட்டிகள் 10-40 nm வரை இருக்கும்.
2. பேண்ட்பாஸ் வடிப்பான்கள் அதிக ஆற்றல் கொண்ட லேசர்களைத் தாங்குமா?
ஆம். லேசர் தூண்டப்பட்ட சேத வரம்பு (LIDT) 15 J/cm⊃2 வரை; (1064 nm, 10 ns துடிப்பு) உகந்த பூச்சு வடிவமைப்புகள் மற்றும் சூப்பர் பாலிஷ் செய்யப்பட்ட அடி மூலக்கூறுகள் (Ra <1 Å) மூலம் சாத்தியமாகும்.
3. தீவிர வெப்பநிலையில் மைய அலைநீள சறுக்கலுக்கு என்ன காரணம்?
பூச்சுகள்/அடி மூலக்கூறுகளுக்கிடையேயான வெப்ப விரிவாக்கப் பொருத்தமின்மை ~0.02 nm/°C மாற்றங்களைத் தூண்டுகிறது. தணிப்பு: பொருந்திய CTE பொருட்கள் (எ.கா., டெல்லூரைட்டில் உள்ள டெல்லூரைட்) சறுக்கலை <0.005 nm/°C ஆகக் கட்டுப்படுத்துகிறது.
4. THz அலைவரிசைகளுக்கு பேண்ட்பாஸ் வடிகட்டிகள் உள்ளதா?
சிறப்பு பாலிமர்கள் (TPX, HDPE) தற்போது THz இல் ஆதிக்கம் செலுத்துகின்றன. 100 μmக்கு மேல் உள்ள கண்ணாடி வடிப்பான்களுக்கு நுண்துளை சிலிக்கான் கட்டமைப்புகள் தேவை - இது வளர்ந்து வரும் R&D பகுதி.
5. ஆப்டிகல் ஃபில்டர்களை பூச்சுகளை சேதப்படுத்தாமல் எப்படி சுத்தம் செய்வது?
அசிட்டோன் (ஆர்கானிக்ஸை நீக்குகிறது) மற்றும் மெத்தனால் (உலர்ந்த எச்சம் இல்லாதது) கொண்ட வரிசைமுறை கழுவுதல்களைப் பயன்படுத்தவும். உலர்ந்த துடைப்பான்களால் ஒருபோதும் துடைக்காதீர்கள்-கடினமான அசுத்தங்களுக்கு மீயொலி சுத்தம் செய்யுங்கள்.
