Монгол улс
Үзсэн: 0 Зохиогч: Сайтын редактор Нийтлэх хугацаа: 2025-07-31 Гарал үүсэл: Сайт
Дамжуулах шүүлтүүрийн шил нь оптикийн инженерчлэлийн оргил үе бөгөөд хагас дамжуулагч литографаас авахуулаад эмнэлгийн оношлогоо хүртэл долгионы уртыг нарийн сонгох боломжийг олгодог. Эдгээр шүүлтүүрүүд нь тодорхой гэрлийн зурвасуудыг (жишээ нь, хэт ягаан туяа, харагдахуйц, эсвэл IR) дамжуулснаар бусдыг хааж, чухал систем дэх дохионы тодорхой байдлыг сайжруулдаг. Taiyu Glass нь зэрэг дэвшилтэт материалыг ашиглан теллюрит шил , хэт бага төмрийн субстрат нарийн зурвасын өргөнтэй (85-140 нм) >92%-ийн дамжуулалтыг бий болгож, өндөр технологийн салбарт гол идэвхжүүлэгч болгон байрлуулдаг. Энэхүү нийтлэл нь нарийн оптик шүүлтүүрийн эрэлт хэрэгцээг өдөөж буй технологи, үйлдвэрлэлийн инноваци, хувиргах хэрэглээг задлан үздэг.
1.1 Шилэн субстратын инженерчлэл
Теллурит шил (TeO₂-д суурилсан) :
Фонон энерги бага (600 см⁻⊃1; 1100 см⁻⊃1; силикаттай харьцуулахад) нь цацрагийн бус энергийн алдагдлыг багасгаж, газрын ховор бодис агуулсан шүүлтүүрт (жишээлбэл, 1.55 μм харилцаа холбооны зурваст Er⊃3;⁺) тохиромжтой болгодог.
Өндөр хугарлын индекс (n=2.0–2.3) нь дуран зэрэг авсаархан төхөөрөмжүүдэд чухал ач холбогдолтой тэнцэх оптик хүч бүхий нимгэн шүүлтүүрийг идэвхжүүлдэг.
Боросиликат 3.3/4.0 :
Бага дулааны тэлэлт (3.3×10⁻⁶/K)-ийг химийн өндөр эсэргүүцэлтэй хослуулж, химийн мэдрэгч зэрэг идэмхий орчинд тогтвортой байдлыг хангана.
1.2 Нимгэн хальсан бүрхүүлийн инновацийн
хүснэгт: Түгээмэл бүрэх материал ба гүйцэтгэлийн
| материалын | үйл ажиллагаа | Дамжуулах оргил | блоклох хүрээ |
|---|---|---|---|
| Ge/SiO₂ стек | IR зурвасын дамжуулалт | 2.0–5.0 мкм | Хэт ягаан туяанд харагдахуйц (<780 нм) |
| Ta₂O₅/MgF₂ | Хэт ягаан туяаны зурвас | 250-400 нм | Үзэгдэх-IR (>450 нм) |
| ITO/Ag | NIR шүүлтүүрүүд | 750–1300 нм | Өргөн зурвасын блоклох |
Магнетрон цацах : ±2 нм-ийн зурвасын өргөний хүлцэлд хүрэхийн тулд <0.5% зузаантай хэлбэлзэлтэй нанометрийн хэмжээний давхаргыг хадгалдаг.
Ion-Assisted Deposition (IAD) : Бүрээсний наалдамхай чанарыг сайжруулж, шүүлтүүр нь 500+ дулааны циклийг давхардалгүйгээр тэсвэрлэх боломжийг олгоно.
2.1 Гадаргууг боловсруулах техник
Хүчиллэг сийлбэр : Нэг төрлийн царцсан гадаргууг (жишээ нь, эмнэлгийн дэлгэцийн сарнисан гэрлийн шүүлтүүрт) бий болгож, гялбааг багасгаж, дамжуулалтыг >85% байлгана.
Химийн аргаар бэхжүүлэх : KNO₃ хайлсан давсанд дүрэх нь гадаргуугийн шахалтыг (≥700 МПа) өдөөж, сансрын мэдрэгчийн цохилтын эсэргүүцлийг нэмэгдүүлдэг.
2.2 Чанарын хяналтын протоколууд
Спектрофотометр : 100% шугаман сканнер нь төвийн долгионы уртын нарийвчлалыг (±0.3 нм) баталгаажуулж, OD6+ блоклох (жишээ нь, хүсээгүй гэрлээс >99.9999% татгалзах).
Хүрээлэн буй орчны туршилт : Шүүлтүүрүүд нь хатуу ширүүн нөхцөлд удаан эдэлгээтэй байхын тулд 1000 цагийн чийгшил/дулааны эргэлтэнд (85% RH-д 85°C) ордог.
3.1 Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл
EUV Lithography : Олон давхаргат Mo/Si зурвасын шүүлтүүрүүд (төв нь 13.5 нм) нь тархалтыг багасгахын тулд гадаргуугийн тэгш бус байдал <0.2 нм RMS бүхий дараагийн үеийн чип загварчлалыг идэвхжүүлдэг.
Өрөөний үзлэг : Хэт ягаан туяаны шүүлтүүр (365 нм) нь мөнгөн усны чийдэнгээс ялгарах шугамыг тусгаарласнаар согог илрүүлэх мэдрэмжийг сайжруулдаг.
3.2 Био анагаахын дүрслэл
Флуоресценцийн микроскоп : 480/20 нм шүүлтүүр нь GFP шошготой уургийг тусгаарлаж, дохио-дуу чимээний харьцааг стандарт шүүлтүүртэй харьцуулахад 10 ×-ээр нэмэгдүүлдэг.
Цусны оксиметр : 660/940 нм хос зурвас нэвтрүүлэх шүүлтүүрүүд нь зүүдэг төхөөрөмжид SpO₂ хэмжилтийн ±1%-ийн нарийвчлалыг идэвхжүүлдэг.
3.3 Батлан хамгаалах, сансар судлал
Пуужингийн удирдамж : SWIR зурвасын шүүлтүүр (1.5–1.6 μм) нь хөдөлгүүрийн туяаны тодорхой тэмдэгтүүдийг чиглүүлэх замаар IR төөрөгдлүүдийг эсэргүүцдэг.
Хиймэл дагуулын дүрслэл : Рад-хатуу шүүлтүүрүүд нь 100 кГи гамма цацрагийг тэсвэрлэхийн зэрэгцээ дэлхийг ажиглахад спектрийн тогтвортой байдлыг хадгалж байдаг.
4.1 Тохируулах боломжтой зурвасын шүүлтүүрүүд
Цахилгаан хром систем : 5V-ийг ашиглах нь дамжуулах зурвасыг ±15 нм-ээр сольдог (жишээ нь, гэрлийн нөхцөлд дрон камерт дасан зохицох IR шүүлтүүр).
MEMS-д суурилсан Fabry-Pérot : Бичил толь нь хөндийн резонансыг динамикаар тохируулж, гар төхөөрөмжид гиперспектр дүрслэл хийх боломжийг олгодог.
4.2 Эко ухамсартай үйлдвэрлэл
Дахин боловсруулсан теллюрит шил : Үйлдвэрлэлийн дараах 40% хүртэл хайлах энергийг 30% бууруулж, оптикийн нэгэн төрлийн байдлыг хадгалдаг.
Хар тугалга агуулаагүй бүрээс : ZrO₂/SiO₂ яндан нь хэт ягаан туяаны шүүлтүүрийн хортой кадми давхаргыг орлуулж, гүйцэтгэлийн ялгаагүй.
Хүснэгт: Салбарын тусгай дизайны параметрүүд
| Хэрэглээний | үндсэн параметрүүд | Taiyu Glass Solutions |
|---|---|---|
| Лазер зүсэлт | Өндөр LIDT (≥10 Ж/см⊃2;), CW 1,064 нм | Nd:YAG зэрэглэлийн ион өнгөлсөн гадаргуутай шүүлтүүрүүд |
| Хоолны ангилал | 720/40 нм (хлорофилл илрүүлэх) | Угаах орчинд зориулсан манангийн эсрэг бүрхүүл |
| VR чихэвч | 530/40 нм (OLED ялгаруулалт) | <0.1° тусгалын өнцгийн хүлцэл |
Прототипийн дэмжлэг : CNC нунтаглах/өнгөлөх замаар хурдан давталт (прототипийг 7 хоногт, эзлэхүүнийг 4 долоо хоногт үйлдвэрлэх).
1. Хэр нарийн туузан дамжуулагч шүүлтүүрийг үйлдвэрлэх боломжтой вэ?
0.1-5 нм-ийн хэт нарийн зурвасын өргөнийг бүхэлд нь диэлектрик бүрээсээр ашиглах боломжтой боловч гарцын хязгаарлалтаас болж зардал нь 2 нм-ээс бага хэмжээгээр нэмэгддэг. Аж үйлдвэрийн ердийн шүүлтүүр нь 10-40 нм-ийн хооронд хэлбэлздэг.
2. Дамжуулах шүүлтүүр нь өндөр хүчин чадалтай лазерыг тэсвэрлэж чадах уу?
Тиймээ. Лазераас үүдэлтэй гэмтлийн босго (LIDT) 15 Ж/см⊃2 хүртэл; (1064 нм, 10 нс импульс) нь оновчтой бүрэх загвар болон хэт өнгөлсөн субстрат (Ra <1 Å)-ийн тусламжтайгаар боломжтой.
3. Хэт их температурт төвийн долгионы уртын шилжилтийн шалтгаан юу вэ?
Бүрээс/субстрат хоорондын дулааны тэлэлтийн зөрүү нь ~0.02 нм/°С-ийн шилжилтийг өдөөдөг. Хөнгөвчлөх: Тохирсон CTE материалууд (жишээлбэл, теллурит дээрх теллурит) шилжилтийг <0.005 нм/°С хүртэл хязгаарладаг.
4. THz давтамжийн зурвасын шүүлтүүр байдаг уу?
Тусгай полимерууд (TPX, HDPE) одоогоор THz давамгайлж байна. 100 μм-ээс дээш хэмжээтэй шилэн шүүлтүүрүүд нь сүвэрхэг цахиурын бүтцийг шаарддаг - шинээр гарч ирж буй R&D талбар.
5. Оптик шүүлтүүрийг бүрээсийг гэмтээхгүйгээр хэрхэн цэвэрлэх вэ?
Ацетон (органик бодисыг арилгадаг) ба метанол (үлдэгдэлгүй хатаадаг) бүхий дараалсан зайлж угаана. Хэзээ ч хуурай салфеткаар арчиж болохгүй - хатуу бохирдуулагчид хэт авианы цэвэрлэгээ хийнэ.
